Pobieranie prezentacji. Proszę czekać

Pobieranie prezentacji. Proszę czekać

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (

Podobne prezentacje


Prezentacja na temat: "FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice ("— Zapis prezentacji:

1 FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( POMPY PRÓŻNIOWE BEZWYLOTOWE

2 FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( POMPY PRÓŻNIOWE BEZWYLOTOWE WLOT WYLOT POMPA PRÓŻNIOWA BEZWYLOTOWA POMPA PRÓŻNIOWA

3 FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( POMPY PRÓŻNIOWE BEZWYLOTOWE 1. Pompy sorpcyjne zeolitowe 2. Pompy sublimacyjne 3. Pompy jonowo-sorpcyjne z gorącymi katodami 4. Pompy jonowo-sorpcyjne z zimnymi katodami 5. Pompy kriogeniczne

4 FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( POMPY SORPCYJNE ZEOLITOWE

5 FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( POMPY SORPCYJNE ZEOLITOWE Adsorption pump

6 FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( POMPY SORPCYJNE ZEOLITOWE p [mbar] NISKA PRÓŻNIA ŚREDNIA PRÓŻNIA WYSOKA PRÓŻNIA ULTRAWYSOKA PRÓŻNIA Informacja zaczerpnięta z: LEYBOLD VACUUM PRODUCTS AND REFERENCE BOOK 2001/2002 LEYBOLD VACUUM GmbH Cologne

7 FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( ZEOLITY

8 FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( POMPY SORPCYJNE ZEOLITOWE ZEOLITY Materiały charakteryzujące się bardzo dobrymi własnościami sorpcyjnymi zeolit

9 FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( POMPY SORPCYJNE ZEOLITOWE ZEOLITY Zeolity – glinokrzemiany związki chemiczne na bazie Al i Si zawierające w swym składzie Ca, Na, K Materiały pochodzenia wulkanicznego lub materiały otrzymywane na drodze syntetycznej

10 FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( POMPY SORPCYJNE ZEOLITOWE Model sieci krystalicznej zeolitu 5A Objętość komór V 1 =775Å V 2 =157Å -3

11 FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( POMPY SORPCYJNE ZEOLITOWE Porowatość pierwotna Porowatość wtórna

12 FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( POMPY SORPCYJNE ZEOLITOWE CZĄSTECZKI GAZU

13 FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( POMPY SORPCYJNE ZEOLITOWE CZĄSTECZKI GAZU UWIĘZIONE W STRUKTURZE ZEOLITU

14 FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( POMPA SORPCYJNA ZEOLITOWA - BUDOWA-

15 FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( POMPA SORPCYJNA ZEOLITOWA - BUDOWA A A A - A WLOT GAZU POŁĄCZENIE POMPY Z ATMOSFERĄ KOREK ZEOLIT KORPUS POMPY KANAŁ

16 FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( POMPA SORPCYJNA ZEOLITOWA - PRACA-

17 FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( POMPA SORPCYJNA ZEOLITOWA - PRACA PRACA ZBIORNIK OPRÓŻNIANY O Z

18 FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( POMPA SORPCYJNA ZEOLITOWA - PRACA PRACA ZBIORNIK OPRÓŻNIANY O Z ADSORPCJA CZĄSTEK GAZU PRZEZ ZEOLIT

19 FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( POMPA SORPCYJNA ZEOLITOWA - PRACA IZOTERMY ADSORPCJI ZEOLITU 13X DLA AZOTU Ciśnienie p [mbar] Ilość (pV) adsorbowanego gazu przypadająca na jednostkę adsorbenta (pV)/m [mbar·l/g] N 2 (-195)°C N 2 (20)°C Informacje zaczerpnięte z LEYBOLD VACUUM, PRODUCTS AND REFERENCE BOOK 2003/2004, LEYBOLD VACUUM GMBH Cologne

20 FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( POMPA SORPCYJNA ZEOLITOWA - PRACA IZOTERMY ADSORPCJI ZEOLITU 13X DLA AZOTU, HELU I NEONU Cisnienie p [mbar] Ilość (pV) adsorbowanego gazu przypadająca na jednostkę adsorbenta (pV)/m [mbar·l/g] N 2 (-195)°C N 2 (20)°C

21 FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( POMPA SORPCYJNA ZEOLITOWA - PRACA IZOTERMY ADSORPCJI ZEOLITU 13X DLA AZOTU, HELU I NEONU Cisnienie p [mbar] Ilość (pV) adsorbowanego gazu przypadająca na jednostkę adsorbenta (pV)/m [mbar·l/g] N 2 (-195)°C N 2 (20)°C

22 FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( POMPA SORPCYJNA ZEOLITOWA - PRACA Ilość azotu zaadsorbowana przez zeolit

23 FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( POMPA SORPCYJNA ZEOLITOWA - PRACA Ilość azotu zaadsorbowana przez zeolit

24 FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( POMPA SORPCYJNA ZEOLITOWA - PRACA PRACA ZBIORNIK OPRÓŻNIANY DEWAR CIEKŁY AZOT T=-195°C O Z

25 FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( POMPA SORPCYJNA ZEOLITOWA - PRACA IZOTERMY ADSORPCJI ZEOLITU 13X DLA AZOTU, HELU I NEONU Cisnienie p [mbar] Ilość (pV) adsorbowanego gazu przypadająca na jednostkę adsorbenta (pV)/m [mbar·l/g] N 2 (-195)°C N 2 (20)°C Ne(-195)°C He(-195)°C Informacje zaczerpnięte z LEYBOLD VACUUM, PRODUCTS AND REFERENCE BOOK 2003/2004, LEYBOLD VACUUM GMBH Cologne

26 FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( POMPA SORPCYJNA ZEOLITOWA REGENERACJA

27 FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( POMPA SORPCYJNA ZEOLITOWA - PRACA REGENERACJA ZBIORNIK OPRÓŻNIANY O Z 230V Ogrzewanie zeolitów do temperatury T=( )°C

28 FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( POMPA SORPCYJNA ZEOLITOWA - PRACA REGENERACJA ZBIORNIK OPRÓŻNIANY O Z 230V USUNIĘCIE GAZÓW ZAADSORBOWANYCH PRZEZ ZEOLIT DO ATMOSFERY

29 FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( POMPY SUBLIMACYJNE

30 FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( POMPY SUBLIMACYJNE Sublimation pump

31 FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( POMPY SUBLIMACYJNE Pompy sublimacyjne są to pompy sorpcyjne, w których rolę sorbentu spełnia aktywna chemicznie warstwa metaliczna naniesiona przez naparowanie

32 FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( POMPY SUBLIMACYJNE – ZAKRES PRACY p [mbar] NISKA PRÓŻNIA ŚREDNIA PRÓŻNIA WYSOKA PRÓŻNIA ULTRAWYSOKA PRÓŻNIA Informacja zaczerpnięta z: LEYBOLD VACUUM PRODUCTS AND REFERENCE BOOK 2001/2002 LEYBOLD VACUUM GmbH Cologne

33 FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( POMPY SUBLIMACYJNE POMPY SUBLIMACYJNE BUDOWA

34 FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( POMPY SUBLIMACYJNE - BUDOWA KORPUS POMPY SUBLIMATOR GRZEJNIK POKRYTY MATERIAŁEM SORPCYJNYM SORBENTEM STOSOWANE SORBENTY: TYTAN, MOLIBDEN, CYRKON, TANTAL WLOT POMPY 230V

35 FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( POMPY SUBLIMACYJNE POMPY SUBLIMACYJNE PRACA

36 FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( POMPY SUBLIMACYJNE - PRACA 230V Rozgrzewanie sublimatora

37 FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( POMPY SUBLIMACYJNE - PRACA 230V Rozgrzewanie sublimatora TEMPERATURA PRACY SUBLIMATORA T=(1400÷1800)°C

38 FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( POMPY SUBLIMACYJNE - PRACA 230V Parowanie sorbentu T=(1400÷1800)°C CZĄSTECZKI TYTANU

39 FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( POMPY SUBLIMACYJNE - PRACA 230V Formowanie lustra sorpcyjnego LUSTO SORPCYJNE Z TYTANU

40 FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( POMPY SUBLIMACYJNE - PRACA 230V Adsorpcja cząsteczek gazu padających na powierzchnię lustra sorpcyjnego ZAADSORBOWANE NA LUSTRZE SORPCYJNYM CZĄSTECZKI GAZU

41 FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( POMPY SUBLIMACYJNE - PRACA 230V Przykrycie zaadsorbowanych cząsteczek gazu warstwą tytanu KOLEJNA WARSTWA TYTANU PRZYKRYWAJĄCA ZAADSORBOWANE CZĄSTECZKI GAZU

42 FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( POMPY SUBLIMACYJNE - PRACA 230V Proces adsorpcji cząsteczek gazu na lustrze sorpcyjnym może być wspomagany poprzez zastosowanie chłodzenia lustra sorpcyjnego CHŁODZENIE LUSTRA SORPCYJNEGO DO TEMPERATURY CIEKŁEGO AZOTU (LN 2 ) LN 2

43 FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( POMPY SUBLIMACYJNE - PRACA Zależność szybkości pompowania gazów od temperatury lustra sorpcyjnego Temperatura warstwy lustra sorpcyjnego H2H2 N2N2 O2O2 COCO 2 H2OH2O 20°C °C Szybkość pompowania l/s·cm -2

44 FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( POMPY SUBLIMACYJNE - PRACA Zależność szybkości pompowania gazów od temperatury lustra sorpcyjnego Temperatura warstwy lustra sorpcyjnego H2H2 N2N2 O2O2 COCO 2 H2OH2O 20°C °C Szybkość pompowania l/s·cm -2

45 FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( POMPY SUBLIMACYJNE - PRACA Zależność szybkości pompowania gazów od temperatury lustra sorpcyjnego Temperatura warstwy lustra sorpcyjnego H2H2 N2N2 O2O2 COCO 2 H2OH2O 20°C °C Szybkość pompowania l/s·cm -2

46 FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( POMPA JONOWO SORPCYJNA Z GORĄCĄ KATODĄ

47 FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( POMPA JONOWO SORPCYJNA Z GORĄCĄ KATODĄ Jest to w zasadzie pompa sublimacyjna w której pompowanie jest wspomagane przez proces jonizacji gazu. W tym celu pompa wyposażona jest w żarzoną katodę i spolaryzowaną siatkę

48 FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( POMPA JONOWO SORPCYJNA Z GORĄCĄ KATODĄ ZAKRES PRACY p [mbar] NISKA PRÓŻNIA ŚREDNIA PRÓŻNIA WYSOKA PRÓŻNIA ULTRAWYSOKA PRÓŻNIA Informacja zaczerpnięta z: LEYBOLD VACUUM PRODUCTS AND REFERENCE BOOK 2001/2002 LEYBOLD VACUUM GmbH Cologne

49 FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( BUDOWA POMPA JONOWO SORPCYJNA Z GORĄCĄ KATODĄ

50 FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( POMPA JONOWO SORPCYJNA Z GORĄCĄ KATODĄ KORPUS POMPY CHŁODNICA LUSTRO SORPCYJNE 230V SUBLIMATOR KOLEKTOR (0V) KATODA(+) SIATKA (++)

51 FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( POMPA JONOWO SORPCYJNA Z GORĄCĄ KATODĄ KORPUS POMPY

52 FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( POMPA JONOWO SORPCYJNA Z GORĄCĄ KATODĄ KORPUS POMPY 230V SUBLIMATOR

53 FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( POMPA JONOWO SORPCYJNA Z GORĄCĄ KATODĄ KORPUS POMPY LUSTRO SORPCYJNE 230V SUBLIMATOR

54 FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( POMPA JONOWO SORPCYJNA Z GORĄCĄ KATODĄ KORPUS POMPY CHŁODNICA LUSTRO SORPCYJNE 230V SUBLIMATOR

55 FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( POMPA JONOWO SORPCYJNA Z GORĄCĄ KATODĄ KORPUS POMPY CHŁODNICA LUSTRO SORPCYJNE 230V SUBLIMATOR KATODA(+)

56 FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( POMPA JONOWO SORPCYJNA Z GORĄCĄ KATODĄ KORPUS POMPY CHŁODNICA LUSTRO SORPCYJNE 230V SUBLIMATOR KOLEKTOR (0V) KATODA(+) SIATKA (++)

57 FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( ZASADA DZIAŁANIA POMPA JONOWO SORPCYJNA Z GORĄCĄ KATODĄ

58 FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( POMPA JONOWO SORPCYJNA Z GORĄCĄ KATODĄ 230V ADSORPCJA CZĄSTECZEK GAZU NA LUSTRZE SORPCYJNYM

59 FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( WSPOMAGANIE PROCESU POMPOWANIA POMPA JONOWO SORPCYJNA Z GORĄCĄ KATODĄ

60 FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( POMPA JONOWO SORPCYJNA Z GORĄCĄ KATODĄ KOLEKTOR (0V)KATODA(+)SIATKA (++)

61 FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( POMPA JONOWO SORPCYJNA Z GORĄCĄ KATODĄ KOLEKTOR (0V) KATODA +(100÷300)V SIATKA +(1.5÷2)kV ROZKŁAD POTENCJAŁU +U

62 FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( POMPA JONOWO SORPCYJNA Z GORĄCĄ KATODĄ KOLEKTOR (0V) KATODA +(100÷300)V SIATKA +(1.5÷2)kV ROZKŁAD POTENCJAŁU +U EMISJA TERMO ELEKTRONÓW Z KATODY

63 FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( POMPA JONOWO SORPCYJNA Z GORĄCĄ KATODĄ KOLEKTOR (0V) KATODA +(100÷300)V SIATKA +(1.5÷2)kV ROZKŁAD POTENCJAŁU +U WYHAMOWANIE ELEKTRONÓW

64 FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( POMPA JONOWO SORPCYJNA Z GORĄCĄ KATODĄ KOLEKTOR (0V) KATODA +(100÷300)V SIATKA +(1.5÷2)kV ROZKŁAD POTENCJAŁU +U POWSTANIE OSCYLUJACEJ WOKÓŁ SIATKI CHMURY ELEKTRONÓW

65 FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( POMPA JONOWO SORPCYJNA Z GORĄCĄ KATODĄ KOLEKTOR (0V) KATODA +(100÷300)V SIATKA +(1.5÷2)kV OSCYLUJĄCA WOKÓŁ SIATKI CHMURA ELEKTRONÓW JONIZUJĄCA CZĄSTECZKI GAZU

66 FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( POMPA JONOWO SORPCYJNA Z GORĄCĄ KATODĄ KOLEKTOR (0V) KATODA +(100÷300)V SIATKA +(1.5÷2)kV OSCYLUJĄCA WOKÓŁ SIATKI CHMURA ELEKTRONÓW JONIZUJĄCA CZĄSTECZKI GAZU CZĄSTECZKI GAZU

67 FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( POMPA JONOWO SORPCYJNA Z GORĄCĄ KATODĄ KOLEKTOR (0V) KATODA +(100÷300)V SIATKA +(1.5÷2)kV OSCYLUJĄCA WOKÓŁ SIATKI CHMURA ELEKTRONÓW JONIZUJĄCA CZĄSTECZKI GAZU ZJONIZOWANE CZĄSTECZKI GAZU

68 FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( POMPA JONOWO SORPCYJNA Z GORĄCĄ KATODĄ KOLEKTOR (0V) KATODA +(100÷300)V SIATKA +(1.5÷2)kV OSCYLUJĄCA WOKÓŁ SIATKI CHMURA ELEKTRONÓW JONIZUJĄCA CZĄSTECZKI GAZU UNOSZENIE CZĄSTECZEK GAZU W STRONĘ LUSTRA SORPCYJNEGO

69 FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( POMPA JONOWO SORPCYJNA Z GORĄCĄ KATODĄ 230V POMPOWANIE GAZÓW NA LUSTRZE SORPCYJNYM WSPOMAGANE JONIZACJĄ ATOMÓW GAZU

70 FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( POMPA JONOWO SORPCYJNA Z ZIMNĄ KATODĄ

71 FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( POMPA JONOWO SORPCYJNA Z ZIMNĄ KATODĄ Sputter-ion pump

72 FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( POMPA JONOWO SORPCYJNA Z ZIMNĄ KATODĄ ZAKRES PRACY p [mbar] NISKA PRÓŻNIA ŚREDNIA PRÓŻNIA WYSOKA PRÓŻNIA ULTRAWYSOKA PRÓŻNIA Informacja zaczerpnięta z: LEYBOLD VACUUM PRODUCTS AND REFERENCE BOOK 2001/2002 LEYBOLD VACUUM GmbH Cologne

73 FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( POMPA JONOWO SORPCYJNA Z ZIMNĄ KATODĄ BUDOWA komórka Penninga Penning cell

74 FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( POMPA JONOWO SORPCYJNA Z ZIMNĄ KATODĄ B UAUA +3kV KATODA ANODA WEWNĘTRZNA POWIERZCHNIA KATODY POKRYTA WARSTWĄ TYTANU d=1mm

75 FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( POMPA JONOWO SORPCYJNA Z ZIMNĄ KATODĄ ZASADA DZIAŁANIA

76 FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( POMPA JONOWO SORPCYJNA Z ZIMNĄ KATODĄ B UAUA +3kV KATODA ANODA

77 FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( POMPA JONOWO SORPCYJNA Z ZIMNĄ KATODĄ B UAUA +3kV KATODA ANODA PROMIENIOWNIE KOSMICZNE

78 FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( POMPA JONOWO SORPCYJNA Z ZIMNĄ KATODĄ B UAUA +3kV KATODA ANODA Inicjowane jonizacji gazu (zapalenie się wyładowania jarzeniowego) PROMIENIOWNIE KOSMICZNE

79 FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( POMPA JONOWO SORPCYJNA Z ZIMNĄ KATODĄ B UAUA +3kV KATODA ANODA Inicjowane jonizacji gazu (zapalenie się wyładowania jarzeniowego) JONIZACJA CZĄSTECZEK GAZU

80 FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( POMPA JONOWO SORPCYJNA Z ZIMNĄ KATODĄ B UAUA +3kV KATODA ANODA Zapalenie się wyładowania jarzeniowego Elektron w skrzyżowanym polu elektrycznym i magnetycznym będzie poruszał się po torze spiralnym

81 FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( POMPA JONOWO SORPCYJNA Z ZIMNĄ KATODĄ B UAUA +3kV KATODA ANODA zapalenie się wyładowania jarzeniowego Jonizacja kolejnych cząsteczek gazu podtrzymujących wyładowanie jarzeniowe

82 FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( POMPA JONOWO SORPCYJNA Z ZIMNĄ KATODĄ B UAUA +3kV KATODA ANODA Bombardowanie powierzchni katod jonami gazu Jonizacja kolejnych cząsteczek gazu podtrzymujących wyładowanie jarzeniowe

83 FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( POMPA JONOWO SORPCYJNA Z ZIMNĄ KATODĄ B UAUA +3kV KATODA ANODA Bombardowanie powierzchni katod jonami gazu Jonizacja kolejnych cząsteczek gazu podtrzymujących wyładowanie jarzeniowe

84 FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( POMPA JONOWO SORPCYJNA Z ZIMNĄ KATODĄ B UAUA +3kV KATODA ANODA Rozpylanie materiału katody, który osadza się na wewnętrznej powierzchni anody Jonizacja kolejnych cząsteczek gazu podtrzymujących wyładowanie jarzeniowe

85 FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( POMPA JONOWO SORPCYJNA Z ZIMNĄ KATODĄ B UAUA +3kV KATODA ANODA Rozpylanie materiału katody, który osadza się na wewnętrznej powierzchni anody Jonizacja kolejnych cząsteczek gazu podtrzymujących wyładowanie jarzeniowe

86 FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( POMPA JONOWO SORPCYJNA Z ZIMNĄ KATODĄ B UAUA +3kV KATODA ANODA Tworzenie się lustra sorpcyjnego na wewnętrznej powierzchni anody Jonizacja kolejnych cząsteczek gazu podtrzymujących wyładowanie jarzeniowe

87 FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( POMPA JONOWO SORPCYJNA Z ZIMNĄ KATODĄ B UAUA +3kV KATODA ANODA Trwałe pompowanie gazu na wewnętrznej powierzchni anody Jonizacja kolejnych cząsteczek gazu podtrzymujących wyładowanie jarzeniowe

88 FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( POMPA JONOWO SORPCYJNA Z ZIMNĄ KATODĄ KATODA ANODA WYGLĄD KATOD WE WSTĘPNYM OKRESIE POMPOWANIA POMPOWANIE GAZU (NIETRWAŁE) NA KATODZIE

89 FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( POMPA JONOWO SORPCYJNA Z ZIMNĄ KATODĄ KATODA ANODA WYGLĄD KATOD PO DŁUGOTRWAŁYM OKRESIE POMPOWANIA TWORZENIE SIĘ KRATERU NA KATODZIE POŁĄCZONE Z UWALNIANIEM ZAADSORBOWANYCH NIETRWALE CZĄSTECZEK GAZU KRATER UWOLNIONA CZĄSTECZKA GAZU

90 FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( POMPA JONOWO SORPCYJNA Z ZIMNĄ KATODĄ BUDOWA POMPY

91 FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( POMPA JONOWO SORPCYJNA Z ZIMNĄ KATODĄ KOMÓRKI PENNINGA KATODA

92 FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( POMPA JONOWO SORPCYJNA Z ZIMNĄ KATODĄ OBUDOWA ŁĄCZĄCA ELEKTRYCZNIE ANODY

93 FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( POMPA JONOWO SORPCYJNA Z ZIMNĄ KATODĄ KATODA

94 FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( POMPA JONOWO SORPCYJNA Z ZIMNĄ KATODĄ ANODA +3kV KATODA POLE MAGNETYCZNE B Informacje zaczerpnięte z LEYBOLD VACUUM, PRODUCTS AND REFERENCE BOOK 2003/2004, LEYBOLD VACUUM GMBH Cologne

95 FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( POMPA JONOWO SORPCYJNA Z ZIMNĄ KATODĄ NIESTABILNOŚĆ PRACY POMPY PRZY POMPOWANIU GAZÓW SZLACHETNYCH

96 FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( POMPA JONOWO SORPCYJNA Z ZIMNĄ KATODĄ - B + + Układ diodowy

97 FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( POMPA JONOWO SORPCYJNA Z ZIMNĄ KATODĄ B Układ diodowy

98 FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( POMPA JONOWO SORPCYJNA Z ZIMNĄ KATODĄ B Układ diodowy KATODA +- ANODA

99 FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( POMPA JONOWO SORPCYJNA Z ZIMNĄ KATODĄ Prąd w układzie diodowym n 0 – koncentracja cząstek gazu n- - koncentracja elektronów - przekrój na zderzenia (zależny od rodzaju gazu) l – droga na której możliwy jest proces jonizacji Informacje zaczerpnięte z LEYBOLD VACUUM, PRODUCTS AND REFERENCE BOOK 2003/2004, LEYBOLD VACUUM GMBH Cologne

100 FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( POMPA JONOWO SORPCYJNA Z ZIMNĄ KATODĄ B Układ diodowy – absorpcja cząstek gazu na katodzie

101 FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( POMPA JONOWO SORPCYJNA Z ZIMNĄ KATODĄ B Układ diodowy – adsorpcja powierzchniowa

102 FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( POMPA JONOWO SORPCYJNA Z ZIMNĄ KATODĄ B Układ diodowy – rozpylanie cząstek tytanu

103 FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( POMPA JONOWO SORPCYJNA Z ZIMNĄ KATODĄ B Układ diodowy – pompowanie na lustrze sorpcyjnym

104 FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( POMPA JONOWO SORPCYJNA Z ZIMNĄ KATODĄ B Układ diodowy – pompowanie na lustrze sorpcyjnym

105 FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( POMPA JONOWO SORPCYJNA Z ZIMNĄ KATODĄ B Układ diodowy – pompowanie na katodzie

106 FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( POMPA JONOWO SORPCYJNA Z ZIMNĄ KATODĄ Układ diodowy – pompowanie na katodzie W wyniku rozpylania kolejnych partii tytanu z katody uwalniane są, zaadsorbowane uprzednio cząsteczki gazu (istotny problem w przypadku gazów szlachetnych

107 FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( POMPA JONOWO SORPCYJNA Z ZIMNĄ KATODĄ Rozwiązaniem tego problemu jest zastosowanie układu triodowego Wyeliminowanie problemu niestabilnego pompowania gazów

108 FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( POMPA JONOWO SORPCYJNA Z ZIMNĄ KATODĄ Układ triodowy B + - KATODAANODATARGET KATODA KATODA POKRYTA WARSTWĄ TYTANU

109 FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( POMPA JONOWO SORPCYJNA Z ZIMNĄ KATODĄ Jonizacja gazu B KATODAANODATARGET KATODA

110 FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( POMPA JONOWO SORPCYJNA Z ZIMNĄ KATODĄ Bombardowanie katod jonami gazu B KATODAANODATARGET KATODA + +

111 FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( POMPA JONOWO SORPCYJNA Z ZIMNĄ KATODĄ Tworzenie lustra sorpcyjnego B KATODAANODATARGET KATODA + +

112 FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( POMPA JONOWO SORPCYJNA Z ZIMNĄ KATODĄ Pompowanie gazu na katodach i anodzie B KATODAANODATARGET KATODA + +

113 FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( POMPA JONOWO SORPCYJNA Z ZIMNĄ KATODĄ Pompowanie gazu na katodach i anodzie B KATODAANODATARGET KATODA + +

114 FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( POMPA JONOWO SORPCYJNA Z ZIMNĄ KATODĄ Jony docierające do targetu mają niewielkie energie + - KATODA ANODA TARGET +

115 FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( POMPA JONOWO SORPCYJNA Z ZIMNĄ KATODĄ + - KATODA ANODA TARGET + Pole przyspieszające Pole hamujące Jony docierające do targetu mają niewielkie energie

116 FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( POMPY KRIOGENICZNE

117 FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( POMPY KRIOGENICZNE Criogenic pump

118 FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( POMPY KRIOGENICZNE – ZAKRES PRACY p [mbar] NISKA PRÓŻNIA ŚREDNIA PRÓŻNIA WYSOKA PRÓŻNIA ULTRAWYSOKA PRÓŻNIA Informacja zaczerpnięta z: LEYBOLD VACUUM PRODUCTS AND REFERENCE BOOK 2001/2002 LEYBOLD VACUUM GmbH Cologne

119 FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( POMPY KRIOGENICZNE BUDOWA

120 FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( POMPY KRIOGENICZNE KORPUS POMPY WLOT POMPY

121 FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( POMPY KRIOGENICZNE LN 2 78K KORPUS POMPY DEWAR WLOT POMPY

122 FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( POMPY KRIOGENICZNE LN 2 He 78K 4.5K KORPUS POMPY DEWAR WLOT POMPY

123 FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( POMPY KRIOGENICZNE KORPUS POMPY CHŁODZIARKO- ZAMRAŻARKA POWIERZCHNIE KRIOGENICZNE

124 FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( POMPY KRIOGENICZNE ZASADA DZIAŁANIA

125 FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( POMPY KRIOGENICZNE - ZASADA DZIAŁANIA Działanie pomp kriogenicznych opiera się na adsorbowaniu i kondensowaniu gazów i par na powierzchniach kriogenicznych, to znaczy na powierzchniach znacznie niższych od temperatury otoczenia

126 FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( POMPY KRIOGENICZNE LN 2 He 78K 4.5K KORPUS POMPY DEWAR

127 FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( POMPY KRIOGENICZNE LN 2 He 78K 4.5K KORPUS POMPY DEWAR KONDENSACJA CZĄSTEK GAZU

128 FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( POMPY KRIOGENICZNE - ZASADA DZIAŁANIA Pompy kriogeniczne służą do wytwarzania ultra wysokich próżni. Celem zaoszczędzenia zużycia czynnika kriogenicznego powinno się te pompy włączać dopiero po uzyskaniu odpowiednio niskiego ciśnienia za pomocą innych pomp

129 FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( POMPY KRIOGENICZNE POMPOWANIE GAZÓW

130 FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( POMPY KRIOGENICZNE - POMPOWANIE GAZÓW 100%70% Pompowanie wodoru H 2 Wodór pompowany jest w około 30% Informacje zaczerpnięte z LEYBOLD VACUUM, PRODUCTS AND REFERENCE BOOK 2003/2004, LEYBOLD VACUUM GMBH Cologne

131 FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( POMPY KRIOGENICZNE - POMPOWANIE GAZÓW 100%1% Pompowanie pary wodnej H 2 O Para wodna pompowana jest w około 99% Informacje zaczerpnięte z LEYBOLD VACUUM, PRODUCTS AND REFERENCE BOOK 2003/2004, LEYBOLD VACUUM GMBH Cologne

132 FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( POMPY KRIOGENICZNE - POMPOWANIE GAZÓW 100%40% Pompowanie azotu N 2 azot pompowany jest w około 60% Informacje zaczerpnięte z LEYBOLD VACUUM, PRODUCTS AND REFERENCE BOOK 2003/2004, LEYBOLD VACUUM GMBH Cologne

133 FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( WYMRAŻARKI

134 FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( WYMRAŻARKI Ciśnienie cząstkowe par wielu substancji wchodzących w skład atmosfery resztkowej pompowanego zbiornika w temperaturze 77K ulega znacznemu obniżeniu

135 FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( WYMRAŻARKI – PRZYKŁAD BUDOWY DEWAR CZYNNIK CHŁODZĄCY

136 FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( WYMRAŻARKI – PRZYKŁAD BUDOWY DEWAR CZYNNIK CHŁODZĄCY KONDENSACJA CZĄSTEK GAZU LUB PAR

137 FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( WYMRAŻARKI – PRZYKŁAD BUDOWY WLEW CZYNNIKA CHŁODZĄCEGO CZYNNIK CHŁODZĄCY

138 FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( WYMRAŻARKI – PRZYKŁAD BUDOWY WLEW CZYNNIKA CHŁODZĄCEGO CZYNNIK CHŁODZĄCY KONDENSACJA CZĄSTEK GAZU LUB PAR


Pobierz ppt "FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice ("

Podobne prezentacje


Reklamy Google