Przetworniki ciśnienia
Elementy odkształcalne rurkowe JednorodnaBourdona Z wewnętrznym trzpieniemAsymetryczna
Elementy odkształcalne mieszkowe
Indukcyjnościowe czujniki ciśnień
Tensometryczny czujnik ciśnienia - z mechanicznym elementem przeniesienia siły p
Tensometryczny czujnik ciśnień rurowy p
WYTWORZENIE MEMBRANY KRZEMOWEJ I etap UTLENIANIE Si SiO 2
WYTWORZENIE MEMBRANY KRZEMOWEJ II etap DOMIESZKOWANIE BOREM Si BOR SiO 2
WYTWORZENIE MEMBRANY KRZEMOWEJ III etap FOTOLITOGRAFIA SiO 2 Maska Fotoresist Si
IV etap TRAWIENIE KRZEMU WYTWORZENIE MEMBRANY KRZEMOWEJ Si
WYTWORZENIE MEMBRANY KRZEMOWEJ V etap TRAWIENIE SiO I UTLENIANIE 2 Si SiO 2
Si warstwa p + FOSFOR WYTWORZENIE STRUKTURY CZUJNIKA SiO 2
Si warstwa p + SiO 2 PIEZOREZYSTOR WYTWORZENIE STRUKTURY CZUJNIKA
Czujniki piezorezystywne ciśnienia oparte są na pomiarze naprężeń proporcjonalnych do różnicy ciśnień występujących po obu stronach membrany. Naprężenia mierzone są przy pomocy piezorezystorów (rezystorów dyfuzyjnych wykonanych w membranie). Efekt piezorezystywny jest silnie anizotropowy i mocno zależy od orientacji krystalograficznej.
Płaszczyzna c) x z y (100) x z y (110) x z y (111) ANIZOTROPIA CZUŁOŚCI PIEZOREZYSTORÓW
STRUKTURA CZUJNIKA UKŁAD MOSTKOWY REZYSTORÓW 1 mm PIEZOREZYSTORY
UKŁAD MOSTKOWY REZYSTORÓW R 1 R 3 R 2 R 4 U Z
PODŁOŻE SZKLANE Si CIŚNIENIE NIŻSZE Si CIŚNIENIE WYŻSZE
Si ZINTEGROWANY CZUJNIK CIŚNIENIA PODŁOŻE SZKLANE STRUKTURA TRANZYSTORA BIPOLARNEGO K E B STRUKTURA CZUJNIKA
POJEMNOŚCIOWY CZUJNIK CIŚNIENIA Si PODŁOŻE SZKLANE ELEKTRODY MEMBRANA
CZUJNIK POJEMNOŚCIOWY PODŁOŻE SZKLANE MEMBRANA ELEKTRODY Si A A
Piezorezystancyjnye czujniki ciśnień f-my Kleber absolutnywzględny
Różnicowy, medium doprowadzone dwustronnie Względny, medium doprowadzone jednostronnie Piezorezystancyjnye czujniki ciśnień f-my Kleber
Nowe możliwości softwerowe. Wyświetlacze typu LCD, sygnały ostrzegawecze kompatybilne ze standardem NAMUR i możliwość nastawienia granic przekroczenia zakresu. Obudowa elektroniki Kompatybilna ze standardem Fieldbus, pozostawia dużo miejsca na przewody Moduł z czujnikiem Spawana metalowa obudowa Płytka z elektroniką Ma obudowaną konstrukcję typu plug-in i ulepszone zamocowanie Przetwornik ciśnienia 3051 Przyłącze procesowe Listwa zaciskowa Zawiera trzy zaciski w zwartej konstrukcji typu plug-in Przyciski do nastawienia zera i zakresu Bardzo prosta obsługa