TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( CZYNNIKI DECYDUJĄCE O UZYSKU

TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( CZYNNIKI DECYDUJĄCE O UZYSKU 1.Czystość pomieszczeń 2.Czystość wody 3.Czystość gazów technicznych i odczynników chemicznych - filtracja,

TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( CZYSTOŚĆ POMIESZCZEŃ

TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( CZYSTOŚĆ POMIESZCZEŃ Wytwarzanie struktur mikroelektronicznych a w szczególności struktur półprzewodnikowych wymaga odpowiedniego przygotowania laboratoriów, które muszą być wyposażone w: SYSTEMY KLIMATYZACYJNE

TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( CZYSTOŚĆ POMIESZCZEŃ KLIMATYZATOR APARATURA

TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( CZYSTOŚĆ POMIESZCZEŃ KLIMATYZATOR

TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( CZYSTOŚĆ POMIESZCZEŃ KLIMATYZATOR NADMUCH

TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( CZYSTOŚĆ POMIESZCZEŃ KLIMATYZATOR NADMUCH

TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( CZYSTOŚĆ POMIESZCZEŃ KLIMATYZATOR NADMUCH WYCIĄG

TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( CZYSTOŚĆ POMIESZCZEŃ Charakterystyka otaczającego powietrza Temp. latem [°C] Temp. zimą [°C] Wilg. względna[%] Maksymalna liczba cząstek o rozm.  0.5  m/l Klasa pomieszczenia          Zgodnie z ogólnymi normami

TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( CZYSTOŚĆ POMIESZCZEŃ ZAPYLENIE PRZESTRZENI ROBOCZYCH

TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( ZAPYLENIE PRZESTRZENI ROBOCZYCH PRZESTRZEŃ ROBOCZA CZĄSTECZKI ZANIECZYSZCZEŃ MECHANICZNYCH PODŁOŻE PÓŁPRZEWODNIKOWE

TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( ZAPYLENIE PRZESTRZENI ROBOCZYCH KLASA CZYSTOŚCI POMIESZCZENIA – ILOŚĆ CZĄTEK O OKREŚLONYCH ŚREDNICACH W STOPIE SZEŚCIENNEJ (CUBIC FOOT) KLASA 1 O.1  m O.2  m O.3  m O.5  m 5.0  m brak.

TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( ZAPYLENIE PRZESTRZENI ROBOCZYCH KLASA CZYSTOŚCI POMIESZCZENIA – ILOŚĆ CZĄTEK O OKREŚLONYCH ŚREDNICACH W STOPIE SZEŚCIENNEJ (CUBIC FOOT) KLASA 10 O.1  m O.2  m O.3  m O.5  m 5.0  m brak

TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( ZAPYLENIE PRZESTRZENI ROBOCZYCH KLASA CZYSTOŚCI POMIESZCZENIA – ILOŚĆ CZĄTEK O OKREŚLONYCH ŚREDNICACH W STOPIE SZEŚCIENNEJ (CUBIC FOOT) KLASA 100 O.1  m O.2  m O.3  m O.5  m 5.0  m Nie oznacz brak

TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( ZAPYLENIE PRZESTRZENI ROBOCZYCH KLASA CZYSTOŚCI POMIESZCZENIA – ILOŚĆ CZĄTEK O OKREŚLONYCH ŚREDNICACH W STOPIE SZEŚCIENNEJ (CUBIC FOOT) KLASA 1000 O.1  m O.2  m O.3  m O.5  m 5.0  m n.oznacz

TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( ZAPYLENIE PRZESTRZENI ROBOCZYCH PRZESTRZEŃ ROBOCZA WENTYLATOR ZASYSAJĄCY POWIETRZE BATERIA FILTRÓW KOMORA LAMINARNA

TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( ZAPYLENIE PRZESTRZENI ROBOCZYCH KLASA 10 KLASA 100

TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( WODA

TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( WODA Woda jest jednym z najważniejszych surowców pomocniczych stosowanych w przemyśle elektronicznym Służy do przemywania detali elektronicznych, płukania podłoży półprzewodnikowych po procesach mycia, trawienia itp..

TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( WODA

TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( WODA + -

TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( WODA Chemicznie „czysta” woda składa się cząsteczek H 2 O oraz niewielkiej ilości jonów H+ i OH- Iloczyn jonowy wody (T=25°C)

TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( WODA + - KATODA - - ANODA + +

TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( WODA Przewodność właściwa absolutnie czystej wody (wartość obliczona) wynosi:

TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( WODA - ZANIECZYSZCZENIA WODA + - Na+ Cl-

TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( WODA - ZANIECZYSZCZENIA WODA + - Na+ Cl- K+ SO 4 -

TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( WODA - ZANIECZYSZCZENIA WODA + - Na+ Cl- K+ SO 4 - KATODA ANODA

TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( WODA - ZANIECZYSZCZENIA WODA + - Na+ Cl- K+ SO 4 - ANODA + + KATODA - -

TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( MIARY CZYSTOŚCI WODY

TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( MIARY CZYSTOŚCI WODY PRZEWODNOŚĆ ELEKTRYCZNA ZDOLNOŚĆ ODTLENIAJĄCA ZAWARTOŚĆ SUCHEJ POZOSTAŁOŚCI ZAWARTOŚĆ WYBRANYCH JONÓW

TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( MIARY CZYSTOŚCI WODY PRZEWODNOŚĆ ELEKTRYCZNA WŁAŚCIWA Jest funkcją zawartości „zanieczyszczeń” o charakterze jonowym Woda stosowana w przemyśle elektronicznym ma czystość na poziomie (10÷18)M  cm

TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( MIARY CZYSTOŚCI WODY ZDOLNOŚĆ ODTLENIAJĄCA WODY Jest miarą zanieczyszczeń organicznych. Określa ilość miligramów tlenu potrzebną do utlenienia związków organicznych w 1l wody Wymagania dla wody w przemyśle elektronicznym są na poziomie poniżej 1mg O 2 /l

TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( MIARY CZYSTOŚCI WODY ZAWARTOŚĆ SUCHEJ POZOSTAŁOŚCI Jest wskaźnikiem ilości zanieczyszczeń, które pozostają po odparowaniu porcji wody Wymagania dla wody w przemyśle elektronicznym są na poziomie poniżej 0.5 mg/l

TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( MIARY CZYSTOŚCI WODY ZAWARTOŚĆ WYBRANYCH GRUP JONÓW W zależności od wymagań w wodzie oznacza się zawartość wybranych jonów: Fe(+3), Ca(+2), Mg(+2), Cl(-), SO 4 (-) i inne

TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( OCZYSZCZANIE WODY

TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( OCZYSZCZANIE WODY Metody oczyszczania wody DESTYLACJA REDESTYLACJA DEJONIZACJA

TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( OCZYSZCZANIE WODY DESTYLACJA

TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( DESTYLACJA WLOT WYLOT CHŁODNICA GRZAŁKA 230V WLEW

TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( DESTYLACJA GRZAŁKA WLOT WYLOT CHŁODNICA 230V DESTYLAT WLEW

TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( OCZYSZCZANIE WODY REDESTYLACJA

TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( REDESTYLACJA WLOT WYLOT CHŁODNICA GRZAŁKA WLEW

TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( REDESTYLACJA REDESTYLAT 230V WLOT WYLOT CHŁODNICA 230V WLEW DESTYLAT

TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( OCZYSZCZANIE WODY DEJONIZACJA

TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( DEJONIZACJA WODA ZANIECZYSZCZONA WODA OCZYSZCZONA KOLUMNA JONITOWA ODPOWIETRZENIE

TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( DEJONIZACJA KOLUMNA JONITOWA WLOT WYLOT Substancja jonowymienna „JONIT”

TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( DEJONIZACJA KOLUMNA JONITOWA Proces wymiany jonowej WLOT WYLOT

TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( DEJONIZACJA JONITY NIEORGANICZNEORGANICZNE NATURALNE SYNTETYCZNE

TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( DEJONIZACJA JONITY KATIONITYANIONITY SYNTETYCZNE słabo-kwaśne silnie-kwaśne słabo-zasadowe silnie-zasadowe

TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( DEJONIZACJA KOLUMNA KATIONITOWA KOLUMNA ANIONITOWA „wychwyt” kationów„wychwyt” anionów

TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( DEJONIZACJA JONITY BUDOWA

TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( DEJONIZACJA -KATIONIT POLIMEROWY MAKROKATION GRUPA JONOWYMIENNA KATIONY K+ Ca2+ Na+

TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( DEJONIZACJA -ANIONIT POLIMEROWY MAKROANION GRUPA JONOWYMIENNA Cl- HCO 3 -SO 4 - ANIONY

TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( DEJONIZACJA JONITY UŻYTKOWANIE

TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( DEJONIZACJA KOLUMNA JONITOWA PRACAREGENERACJA HCl lub NaOH H2OH2O H2OH2O SOLE

TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( DEJONIZACJA PRACA

TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( DEJONIZACJA -KATIONIT K+ Na+ Ca2+ Na

TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( DEJONIZACJA -KATIONIT K+ K Na+ Ca2+ Ca Na

TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( DEJONIZACJA -ANIONIT Cl- SO 4 -HCO 3 -

TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( DEJONIZACJA -ANIONIT Cl Cl- SO 4 SO 4 - HCO 3 -

TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( REGENERACJA JONITÓW REGENERACJA

TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( REGENERACJA -KATIONIT HCl K Ca NaHCl Ca Na KKK

TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( DEJONIZACJA -KATIONIT KCl NaClCaCl 2 NaCl

TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( REGENERACJA -ANIONIT Cl SO 4 NaOH Cl SO 4

TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( DEJONIZACJA -KATIONIT NaCl Na 2 SO 4

TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( OCZYSZCZANIE WODY DEJONIZATORY

TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( DEJONIZATORY KATIONIT ANIONIT  Dwukolumnowy układ dejonizatora

TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( DEJONIZATORY KATIONIT ANIONIT WĘGIEL 10  m FILTRACJA WSTĘPNA  Trzykolumnowy układ dejonizatora

TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( DEJONIZATORY Pięciokolumnowy układ dejonizatora 10  m FILTRACJA WSTĘPNA KATIONIT ANIONIT  KATIONIT ANIONIT  ZŁOŻE MIESZ.

TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( DEJONIZATORY Trzykolumnowy układ dejonizatora  10  m FILTRACJA WSTĘPNA  ZŁOŻE MIESZ. ZŁOŻE MIESZ

TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( SYSTEM DEJONIZACJI CIĄGŁEJ

TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( SYSTEM DEJONIZACJI CIĄGŁEJ + - ANODA KATODA KOLUMNA PÓŁPRZEWODZĄCA DLA ANIONÓW MEMBRANA

TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( SYSTEM DEJONIZACJI CIĄGŁEJ WODA ZANIECZYSZCZONA

TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( SYSTEM DEJONIZACJI CIĄGŁEJ WODA ZANIECZYSZCZONA WODA OCZYSZCZONA STRUMIEŃ WODY WYMYWAJĄCY JONY +

TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( SYSTEM DEJONIZACJI CIĄGŁEJ + - WODA OCZYSZCZONA WODA ZANIECZYSZCZONA STRUMIEŃ WODY WYMYWAJĄCY JONY ANODA KATODA

TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( SYSTEM DEJONIZACJI CIĄGŁEJ REZYSTYWNOŚĆ WODY DI CZAS UŻYTKOWANIA ZŁOŻA W systemie CDI nie występuje potrzeba okresowej regeneracji złoża

TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( SYSTEM DEJONIZACJI CIĄGŁEJ REZYSTYWNOŚĆ WODY DI CZAS UŻYTKOWANIA ZŁOŻA W systemie CDI nie występuje potrzeba okresowej regeneracji złoża W systemie konwencjonalnym następuje moment „wyczerpania się” złoża

TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( SYSTEM DEJONIZACJI CIĄGŁEJ REZYSTYWNOŚĆ WODY DI CZAS UŻYTKOWANIA ZŁOŻA W systemie CDI nie występuje potrzeba okresowej regeneracji złoża REGENERACJA

TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( SYSTEM DEJONIZACJI CIĄGŁEJ REZYSTYWNOŚĆ WODY DI CZAS UŻYTKOWANIA ZŁOŻA W systemie CDI nie występuje potrzeba okresowej regeneracji złoża REGENERACJA

TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( KONDUKTOMETRY CIECZOWE

TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( KONDUKTOMETRY CIECZOWE GŁOWICA SZKLANA OSLONA PLATYNOWE ELEKTRODY 000  S KONDUKTOMETR

TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( KONDUKTOMETRY CIECZOWE 150  S KONDUKTOMETR

TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( KONDUKTOMETRY CIECZOWE 17°C KONDUKTOMETR

TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( KONDUKTOMETRY CIECZOWE 000,00  S ELEKTRODY PLATYNOWE

TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( KONDUKTOMETRY CIECZOWE 040,00  S WODA

TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( INSTALACJE DO OCZYSZCZANIA WODY

TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( INSTALACJE DO OCZYSZCZANIA WODY Filtracja wstępna Oczyszczanie osmotyczne Odgazowanie dejonizacja wstępna (4-16)M  cm ZBIORNIK Dejonizacja końcowa Sterylizacja ultrafioletem UV Filtracja na filtrach sub- mikronowych PUNKT UŻYCIA 18 M  cm Neutralizacja

TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( INSTALACJE DO OCZYSZCZANIA WODY STERYLIZACJA ULTRAFIOLETEM ŻYCIE BIOLOGICZNE

TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( INSTALACJE DO OCZYSZCZANIA WODY STERYLIZACJA ULTRAFIOLETEM

TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( USUWANIE ZANIECZYSZCZEŃ MECHANICZNYCH FILTRACJA

TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( FILTRACJA SiO 2 n+ Si typ p Al D G S (0.3 –0.18)  m

TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( FILTRACJA SiO 2 n+ Si typ p Al D G S (0.3 –0.18)  m Cząstki dymu tytoniowego

TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( FILTRACJA SiO 2 n+ Si typ p Al D G S (0.3 –0.18)  m 0.1  m 0.3  m

TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( FILTRACJA SiO 2 n+ Si typ p Al D G S (0.3 –0.18)  m Włos ludzki 60  m

TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( FILTRACJA 100  m 80  m 60  m 40  m 20  m 10  m WŁOS LUDZKI NAJMNIEJSZE OBIEKTY WIDZIALNE OKIEM LUDZKIM MIKROSKOP OPTYCZNY

TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( FILTRACJA 10  m 8m8m 6m6m 4m4m 2m2m 1m1m ERYTROCYTY NAJMNIEJSZE KOLONIE GRZYBÓW MIKROSKOP OPTYCZNY

TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( FILTRACJA 1m1m 0.8  m 0.6  m 0.4  m 0.2  m 0.1  m DYM TYTONIOWY NAJMNIEJSZE BAKTERIE MIKROSKOP OPTYCZNY MIKROSKOP ELEKTRON.

TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( FILTRACJA 0.1  m 0.08  m 0.06  m 0.04  m 0.02  m 0.01  m CZĄSTKI SADZY WIRUS POLIO MIKROSKOP ELEKTRON.

TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( FILTRACJA FILTRACJA PRZY WYKORZYSTANIU FILTRÓW MEMBRANOWYCH

TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( FILTRACJA OBUDOWA FILTRU FILTR USZCZELKI TEFLONOWE WLOT WYLOT

TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( FILTRACJA FILTR MILLIPORE średnica porów 0.2  m WLOT WYLOT Na filtrze zostaną „wychwycone” zanieczyszczenia o średnicach powyżej 0.2  m

TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( FILTRACJA Wielkości porów filtrów produkowanych przez firmę MILLIPORE 14  m 5  m 3  m 1.2  m 0.45  m 0.22  m 0.10  m 0.05  m  m Informacja zaczerpnięta z katalogów wyrobów firmy MILLIPORE

TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( FILTRACJA ZESTAWY FILTRACYJNE W SYSTEMIE DYSTRYBUCJI GAZÓW

TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( FILTRACJA - ZESTAWY TLEN AZOT POWIETRZE KOMORA ROBOCZA FILTR WSTĘPNY TYP ITYP II FILTRY KOŃCOWE

TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( FILTRACJA - ZESTAWY KOMORA ROBOCZA FILTR KOŃCOWY TYP I TYP II SiH 4 PH 3 SiCl 4 SZAFA GAZOWA WYCIĄG Gazy specjalne

TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( FILTRACJA FILTRACJA ODCZYNNIKÓW CHEMICZNYCH

TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( FILTRACJA Na drodze „od producenta” odczynników chemicznych dla elektroniki do „punktu użycia (point of use)” dany materiał (preparat) podlega wielokrotnej filtracji PRODUCENT ODCZYNNIKÓW PUNKT UŻYCIA (POINT OF USE) FILTRACJA

TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( FILTRACJA – ODCZYNNIKI CHEMICZNE FILTRACJA WSTĘPNA FILTRACJA POCZĄTKOWA FILTRACJA ZASADNICZA FILTRACJA KOŃCOWA FILTRACJA „POINT OF USE” SPADEK ILOŚCI ZANIECZYSZCZEŃ MECHANICZNYCH

TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( FILTRACJA – ODCZYNNIKI CHEMICZNE WYTWARZANIE MATERIAŁÓW Z ODCZYNNIKÓW CHEMICZNYCH PRZEPAKOWYWANIE WYTWARZANIE ODCZYNNIKÓW l1l1l1l 1l1l1l1l 1l1l1l1l 55 gal.