Przetworniki ciśnienia. Elementy odkształcalne rurkowe JednorodnaBourdona Z wewnętrznym trzpieniemAsymetryczna.

Prezentacja na temat: "Przetworniki ciśnienia. Elementy odkształcalne rurkowe JednorodnaBourdona Z wewnętrznym trzpieniemAsymetryczna."— Zapis prezentacji:

1 Przetworniki ciśnienia

2 Elementy odkształcalne rurkowe JednorodnaBourdona Z wewnętrznym trzpieniemAsymetryczna

3 Elementy odkształcalne mieszkowe

4 Indukcyjnościowe czujniki ciśnień

5 Tensometryczny czujnik ciśnienia - z mechanicznym elementem przeniesienia siły p

6 Tensometryczny czujnik ciśnień rurowy p

7 WYTWORZENIE MEMBRANY KRZEMOWEJ I etap UTLENIANIE Si SiO 2

8 WYTWORZENIE MEMBRANY KRZEMOWEJ II etap DOMIESZKOWANIE BOREM Si BOR SiO 2

9 WYTWORZENIE MEMBRANY KRZEMOWEJ III etap FOTOLITOGRAFIA SiO 2 Maska Fotoresist Si

10 IV etap TRAWIENIE KRZEMU WYTWORZENIE MEMBRANY KRZEMOWEJ Si

11 WYTWORZENIE MEMBRANY KRZEMOWEJ V etap TRAWIENIE SiO I UTLENIANIE 2 Si SiO 2

12 Si warstwa p + FOSFOR WYTWORZENIE STRUKTURY CZUJNIKA SiO 2

13 Si warstwa p + SiO 2 PIEZOREZYSTOR WYTWORZENIE STRUKTURY CZUJNIKA

14 Czujniki piezorezystywne ciśnienia oparte są na pomiarze naprężeń proporcjonalnych do różnicy ciśnień występujących po obu stronach membrany. Naprężenia mierzone są przy pomocy piezorezystorów (rezystorów dyfuzyjnych wykonanych w membranie). Efekt piezorezystywny jest silnie anizotropowy i mocno zależy od orientacji krystalograficznej.

15 Płaszczyzna c) x z y (100) x z y (110) x z y (111) ANIZOTROPIA CZUŁOŚCI PIEZOREZYSTORÓW

16 STRUKTURA CZUJNIKA UKŁAD MOSTKOWY REZYSTORÓW 1 mm PIEZOREZYSTORY

17 UKŁAD MOSTKOWY REZYSTORÓW R 1 R 3 R 2 R 4 U Z

18 PODŁOŻE SZKLANE Si CIŚNIENIE NIŻSZE Si CIŚNIENIE WYŻSZE

19 Si ZINTEGROWANY CZUJNIK CIŚNIENIA PODŁOŻE SZKLANE STRUKTURA TRANZYSTORA BIPOLARNEGO K E B STRUKTURA CZUJNIKA

20 POJEMNOŚCIOWY CZUJNIK CIŚNIENIA Si PODŁOŻE SZKLANE ELEKTRODY MEMBRANA

21 CZUJNIK POJEMNOŚCIOWY PODŁOŻE SZKLANE MEMBRANA ELEKTRODY Si A A

22

23 Piezorezystancyjnye czujniki ciśnień f-my Kleber absolutnywzględny

24 Różnicowy, medium doprowadzone dwustronnie Względny, medium doprowadzone jednostronnie Piezorezystancyjnye czujniki ciśnień f-my Kleber

25 Nowe możliwości softwerowe. Wyświetlacze typu LCD, sygnały ostrzegawecze kompatybilne ze standardem NAMUR i możliwość nastawienia granic przekroczenia zakresu. Obudowa elektroniki Kompatybilna ze standardem Fieldbus, pozostawia dużo miejsca na przewody Moduł z czujnikiem Spawana metalowa obudowa Płytka z elektroniką Ma obudowaną konstrukcję typu plug-in i ulepszone zamocowanie Przetwornik ciśnienia 3051 Przyłącze procesowe Listwa zaciskowa Zawiera trzy zaciski w zwartej konstrukcji typu plug-in Przyciski do nastawienia zera i zakresu Bardzo prosta obsługa