Pobierz prezentację
Pobieranie prezentacji. Proszę czekać
OpublikowałZdzisława Jędrzejczyk Został zmieniony 11 lat temu
1
Procedura pomiarowa X M M* N Z V Rozdzielczość Mezurand M Selektywność
METODA POMIARU NARZĘDZIE POMIAROWE ODTWARZANIE MEZURANDU X M M* N Z V Rozdzielczość Mezurand M Selektywność Zakres pomiarowy Mmin Mmax Xmin Xmax Czułość S = N/X Stała (przyrządu) Powtarzalność
3
Elementy odkształcalne rurkowe
Jednorodna Z wewnętrznym trzpieniem Asymetryczna Bourdona
4
Elementy odkształcalne mieszkowe
5
Indukcyjnościoweczujniki ciśnień
6
Tensometryczny czujnik ciśnienia - z mechanicznym elementem przeniesienia siły
7
Tensometryczny czujnik ciśnień rurowy
p
8
Mikromechanika Krzemowa MEMS Krzem
Współczynnik poissona – taki jak dla stali Wytrzymałość – 2,5 raza wieksza Brak histerezy mechanicznej Duża przewodność cieplna
9
WYTWORZENIE MEMBRANY KRZEMOWEJ I etap UTLENIANIE SiO 2 Si
10
Si SiO WYTWORZENIE MEMBRANY KRZEMOWEJ II etap DOMIESZKOWANIE BOREM BOR
2
11
Si SiO Fotoresist Maska WYTWORZENIE MEMBRANY KRZEMOWEJ
III etap FOTOLITOGRAFIA SiO 2 Maska Fotoresist Si
12
WYTWORZENIE MEMBRANY KRZEMOWEJ IV etap TRAWIENIE KRZEMU Si
13
SiO Si WYTWORZENIE MEMBRANY KRZEMOWEJ
V etap TRAWIENIE SiO I UTLENIANIE 2 SiO 2 Si
14
WYTWORZENIE STRUKTURY
CZUJNIKA FOSFOR warstwa p + Si SiO 2
15
WYTWORZENIE STRUKTURY
CZUJNIKA SiO 2 warstwa p + PIEZOREZYSTOR Si
16
Czujniki piezorezystywne ciśnienia oparte są
na pomiarze naprężeń proporcjonalnych do różnicy ciśnień występujących po obu stronach membrany. Naprężenia mierzone są przy pomocy piezorezystorów (rezystorów dyfuzyjnych wykonanych w membranie). Efekt piezorezystywny jest silnie anizotropowy i mocno zależy od orientacji krystalograficznej.
17
ANIZOTROPIA CZUŁOŚCI PIEZOREZYSTORÓW
x z y (100) x z y (110) x z y (111) c) <111> <001> <010> <011> <110> Płaszczyzna <100>
18
UKŁAD MOSTKOWY REZYSTORÓW
STRUKTURA CZUJNIKA UKŁAD MOSTKOWY REZYSTORÓW PIEZOREZYSTORY 1 mm
19
UKŁAD MOSTKOWY REZYSTORÓW
1 R 3 U Z R 4 R 2
20
CIŚNIENIE NIŻSZE Si CIŚNIENIE WYŻSZE Si PODŁOŻE SZKLANE
21
STRUKTURA TRANZYSTORA
ZINTEGROWANY CZUJNIK CIŚNIENIA STRUKTURA TRANZYSTORA BIPOLARNEGO STRUKTURA CZUJNIKA K E B Si PODŁOŻE SZKLANE
22
POJEMNOŚCIOWY CZUJNIK
CIŚNIENIA MEMBRANA Si PODŁOŻE SZKLANE ELEKTRODY
23
CZUJNIK POJEMNOŚCIOWY A A MEMBRANA ELEKTRODY Si PODŁOŻE SZKLANE
25
Piezorezystancyjnye czujniki ciśnień f-my Kleber
absolutny względny
26
Piezorezystancyjnye czujniki ciśnień f-my Kleber
Różnicowy, medium doprowadzone dwustronnie Względny, medium doprowadzone jednostronnie
27
Przetwornik ciśnienia 3051
Przyciski do nastawienia zera i zakresu Bardzo prosta obsługa Płytka z elektroniką Ma obudowaną konstrukcję typu plug-in i ulepszone zamocowanie Obudowa elektroniki Kompatybilna ze standardem Fieldbus, pozostawia dużo miejsca na przewody Nowe możliwości softwerowe Wyświetlacze typu LCD, sygnały ostrzegawecze kompatybilne ze standardem NAMUR i możliwość nastawienia granic przekroczenia zakresu. Listwa zaciskowa Zawiera trzy zaciski w zwartej konstrukcji typu plug-in Moduł z czujnikiem Spawana metalowa obudowa Przyłącze procesowe Przetwornik ciśnienia 3051
28
Półprzewodnikowe czujniki przyśpieszenia
29
Mechaniczny czujnik przyśpieszenia typu ball in tube
32
Elektryczny czujnik przyśpieszenia typu ADXL produkcji Analog Devices w technologii MEMS
Zawieszenie zginane Zawieszenie rozciągane Miejsca zamocowania
43
Budowa wewnętrzna sterownika systemu SRS
1 – czujnik przyspieszeń 2 – włącznik bezpieczeństwa 3 – układ podtrzymania napięcia zasilającego (awaryjnego) 4 – układ ASIC 5 - mikrokontroler
44
Koncepcja nowoczesnego systemu poduszek powietrznych firmy Bosch
45
Detekcja dachowania- Bosch
47
Charakterystyki napełniania poduszki o ładunku dwustopniowym - a, i o dwóch ładunkach – b
49
Czujniki temperatury
50
Rezystancyjne czujniki temperatury
metalowe półprzewodnikowe RTD SPRT termistory monokryst. KTY PTC NTC
51
Współczynnik temperaturowy rezystancji
Względny przyrost rezystancji przy zmianie temperatury o 1K (lub o 1 C) w zakresie 0 C do 100 C Europa =0,385 USA =0,392 Np. Dla platyny
52
Właściwości termometrów metalowych
Materiał : platyna (Pt100) (Pt 1000) (Pt 500) Ni, (Cu) Zakres pomiarowy: platyna: (- 220 do 850)C nikiel : ( - 50 do 150) C Niepewność czujnika związana z jego klasą wg IEC 751 PN-EN-60751
53
Termometry rezystancyjne metalowe
54
Współczynnik temperaturowy rezystancji termistorów
25 NTC = - B/T2 B - Stała materiałowa, do 4000 K
55
Termometry KTY - rezystywność, =ok. 7 cm
Styki poli -Si o średnicy ok. 20 m Izolacja SiO2 Obszary domieszkowane typu n Krzem Metalizacja strony spodniej ok. 0.5 mm - rezystywność, =ok. 7 cm D - średnica styku
56
Czujnik diodowy U ID ΔU ID2 ID1
57
Czujniki termoelektryczne
Zasada działania: Powstawanie siły termoelektrycznej przy istnieniu gradientu temperatury wzdłuż przewodnika Mat A Mat B złącze ciepłe złącze zimne Ute = T
58
Termopary „szlachetne“ Termopara wysokotemperaturowa
Właściwości termometrów termoelektrycznych Termopary „szlachetne“ S: PtRh10 - Pt R: PtRh13 - Pt B: PtRh30 - Pt Typ i materiał: S i R -50 C C dorywczo 1760 C STE -0, mV, B C C dorywczo 1800 C STE do 13,8 mV Zakresy pomiarowe: Termopara wysokotemperaturowa Materiał WRe5- WRe26 Zakres pomiarowy: (2700) C, STE 40,7 mV
59
Właściwości termometrów termoelektrycznych
Materiał: T: + miedź (Cu) — konstantan (Cu+Ni), J: + żelazo (Fe) — konstantan (Cu+Ni), K: + chromel (Ni+Cr) —alumel (Ni+Al) N: + (Ni + Cr + Si) — (Ni+ Si) Zakresy pomiarowe: T: (-270 do 400) C, J: (-210 do 12O0) C, K: (-270 do 1250) C, N: (-270 do 1300) C STE: (-6 do 20) mV, STE: (-8,1 do 69,5) mV, STE: (-6,5 do 50,6) mV, STE: (-4,3 do 47,5) mV Wykonanie czujniki zanurzeniowe czujniki temperatury powierzchni Średnica drutu: (0,4 do 4) mm
60
Wykonania termometrów termoelektrycznych
61
Wykonania termometrów termoelektrycznych
62
Wykonania termometrów termoelektrycznych
Podobne prezentacje
© 2024 SlidePlayer.pl Inc.
All rights reserved.