Pobierz prezentację
Pobieranie prezentacji. Proszę czekać
OpublikowałKrystyna Urbańska Został zmieniony 8 lat temu
1
TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) CZYNNIKI DECYDUJĄCE O UZYSKU
2
TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) CZYNNIKI DECYDUJĄCE O UZYSKU 1.Czystość pomieszczeń 2.Czystość wody 3.Czystość gazów technicznych i odczynników chemicznych - filtracja,
3
TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) CZYSTOŚĆ POMIESZCZEŃ
4
TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) CZYSTOŚĆ POMIESZCZEŃ Wytwarzanie struktur mikroelektronicznych a w szczególności struktur półprzewodnikowych wymaga odpowiedniego przygotowania laboratoriów, które muszą być wyposażone w: SYSTEMY KLIMATYZACYJNE
5
TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) CZYSTOŚĆ POMIESZCZEŃ KLIMATYZATOR APARATURA
6
TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) CZYSTOŚĆ POMIESZCZEŃ KLIMATYZATOR
7
TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) CZYSTOŚĆ POMIESZCZEŃ KLIMATYZATOR NADMUCH
8
TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) CZYSTOŚĆ POMIESZCZEŃ KLIMATYZATOR NADMUCH
9
TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) CZYSTOŚĆ POMIESZCZEŃ KLIMATYZATOR NADMUCH WYCIĄG
10
TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) CZYSTOŚĆ POMIESZCZEŃ Charakterystyka otaczającego powietrza Temp. latem [°C] Temp. zimą [°C] Wilg. względna[%] Maksymalna liczba cząstek o rozm. 0.5 m/l Klasa pomieszczenia 12345 22 0.520 1.020 2.0 22 0.523 1.023 2.0 45 5.050 5.050 10 4 3535010003500 Zgodnie z ogólnymi normami
11
TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) CZYSTOŚĆ POMIESZCZEŃ ZAPYLENIE PRZESTRZENI ROBOCZYCH
12
TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) ZAPYLENIE PRZESTRZENI ROBOCZYCH PRZESTRZEŃ ROBOCZA CZĄSTECZKI ZANIECZYSZCZEŃ MECHANICZNYCH PODŁOŻE PÓŁPRZEWODNIKOWE
13
TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) ZAPYLENIE PRZESTRZENI ROBOCZYCH KLASA CZYSTOŚCI POMIESZCZENIA – ILOŚĆ CZĄTEK O OKREŚLONYCH ŚREDNICACH W STOPIE SZEŚCIENNEJ (CUBIC FOOT) KLASA 1 O.1 m O.2 m O.3 m O.5 m 5.0 m 35 7.5 3 1 brak.
14
TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) ZAPYLENIE PRZESTRZENI ROBOCZYCH KLASA CZYSTOŚCI POMIESZCZENIA – ILOŚĆ CZĄTEK O OKREŚLONYCH ŚREDNICACH W STOPIE SZEŚCIENNEJ (CUBIC FOOT) KLASA 10 O.1 m O.2 m O.3 m O.5 m 5.0 m 350 75 30 10 brak
15
TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) ZAPYLENIE PRZESTRZENI ROBOCZYCH KLASA CZYSTOŚCI POMIESZCZENIA – ILOŚĆ CZĄTEK O OKREŚLONYCH ŚREDNICACH W STOPIE SZEŚCIENNEJ (CUBIC FOOT) KLASA 100 O.1 m O.2 m O.3 m O.5 m 5.0 m Nie oznacz. 750 300 100 brak
16
TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) ZAPYLENIE PRZESTRZENI ROBOCZYCH KLASA CZYSTOŚCI POMIESZCZENIA – ILOŚĆ CZĄTEK O OKREŚLONYCH ŚREDNICACH W STOPIE SZEŚCIENNEJ (CUBIC FOOT) KLASA 1000 O.1 m O.2 m O.3 m O.5 m 5.0 m n.oznacz. 1000 7
17
TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) ZAPYLENIE PRZESTRZENI ROBOCZYCH PRZESTRZEŃ ROBOCZA WENTYLATOR ZASYSAJĄCY POWIETRZE BATERIA FILTRÓW KOMORA LAMINARNA
18
TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) ZAPYLENIE PRZESTRZENI ROBOCZYCH KLASA 10 KLASA 100
19
TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) WODA
20
TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) WODA Woda jest jednym z najważniejszych surowców pomocniczych stosowanych w przemyśle elektronicznym Służy do przemywania detali elektronicznych, płukania podłoży półprzewodnikowych po procesach mycia, trawienia itp..
21
TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) WODA
22
TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) WODA + -
23
TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) WODA Chemicznie „czysta” woda składa się cząsteczek H 2 O oraz niewielkiej ilości jonów H+ i OH- Iloczyn jonowy wody (T=25°C)
24
TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) WODA + - KATODA - - ANODA + +
25
TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) WODA Przewodność właściwa absolutnie czystej wody (wartość obliczona) wynosi:
26
TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) WODA - ZANIECZYSZCZENIA WODA + - Na+ Cl-
27
TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) WODA - ZANIECZYSZCZENIA WODA + - Na+ Cl- K+ SO 4 -
28
TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) WODA - ZANIECZYSZCZENIA WODA + - Na+ Cl- K+ SO 4 - KATODA ANODA
29
TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) WODA - ZANIECZYSZCZENIA WODA + - Na+ Cl- K+ SO 4 - ANODA + + KATODA - -
30
TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) MIARY CZYSTOŚCI WODY
31
TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) MIARY CZYSTOŚCI WODY PRZEWODNOŚĆ ELEKTRYCZNA ZDOLNOŚĆ ODTLENIAJĄCA ZAWARTOŚĆ SUCHEJ POZOSTAŁOŚCI ZAWARTOŚĆ WYBRANYCH JONÓW
32
TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) MIARY CZYSTOŚCI WODY PRZEWODNOŚĆ ELEKTRYCZNA WŁAŚCIWA Jest funkcją zawartości „zanieczyszczeń” o charakterze jonowym Woda stosowana w przemyśle elektronicznym ma czystość na poziomie (10÷18)M cm
33
TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) MIARY CZYSTOŚCI WODY ZDOLNOŚĆ ODTLENIAJĄCA WODY Jest miarą zanieczyszczeń organicznych. Określa ilość miligramów tlenu potrzebną do utlenienia związków organicznych w 1l wody Wymagania dla wody w przemyśle elektronicznym są na poziomie poniżej 1mg O 2 /l
34
TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) MIARY CZYSTOŚCI WODY ZAWARTOŚĆ SUCHEJ POZOSTAŁOŚCI Jest wskaźnikiem ilości zanieczyszczeń, które pozostają po odparowaniu porcji wody Wymagania dla wody w przemyśle elektronicznym są na poziomie poniżej 0.5 mg/l
35
TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) MIARY CZYSTOŚCI WODY ZAWARTOŚĆ WYBRANYCH GRUP JONÓW W zależności od wymagań w wodzie oznacza się zawartość wybranych jonów: Fe(+3), Ca(+2), Mg(+2), Cl(-), SO 4 (-) i inne
36
TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) OCZYSZCZANIE WODY
37
TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) OCZYSZCZANIE WODY Metody oczyszczania wody DESTYLACJA REDESTYLACJA DEJONIZACJA
38
TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) OCZYSZCZANIE WODY DESTYLACJA
39
TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) DESTYLACJA WLOT WYLOT CHŁODNICA GRZAŁKA 230V WLEW
40
TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) DESTYLACJA GRZAŁKA WLOT WYLOT CHŁODNICA 230V DESTYLAT WLEW
41
TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) OCZYSZCZANIE WODY REDESTYLACJA
42
TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) REDESTYLACJA WLOT WYLOT CHŁODNICA GRZAŁKA WLEW
43
TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) REDESTYLACJA REDESTYLAT 230V WLOT WYLOT CHŁODNICA 230V WLEW DESTYLAT
44
TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) OCZYSZCZANIE WODY DEJONIZACJA
45
TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) DEJONIZACJA WODA ZANIECZYSZCZONA WODA OCZYSZCZONA KOLUMNA JONITOWA ODPOWIETRZENIE
46
TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) DEJONIZACJA KOLUMNA JONITOWA WLOT WYLOT Substancja jonowymienna „JONIT”
47
TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) DEJONIZACJA KOLUMNA JONITOWA Proces wymiany jonowej WLOT WYLOT
48
TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) DEJONIZACJA JONITY NIEORGANICZNEORGANICZNE NATURALNE SYNTETYCZNE
49
TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) DEJONIZACJA JONITY KATIONITYANIONITY SYNTETYCZNE słabo-kwaśne silnie-kwaśne słabo-zasadowe silnie-zasadowe
50
TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) DEJONIZACJA KOLUMNA KATIONITOWA KOLUMNA ANIONITOWA „wychwyt” kationów„wychwyt” anionów
51
TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) DEJONIZACJA JONITY BUDOWA
52
TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) DEJONIZACJA -KATIONIT POLIMEROWY MAKROKATION GRUPA JONOWYMIENNA KATIONY K+ Ca2+ Na+
53
TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) DEJONIZACJA -ANIONIT POLIMEROWY MAKROANION GRUPA JONOWYMIENNA Cl- HCO 3 -SO 4 - ANIONY
54
TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) DEJONIZACJA JONITY UŻYTKOWANIE
55
TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) DEJONIZACJA KOLUMNA JONITOWA PRACAREGENERACJA HCl lub NaOH H2OH2O H2OH2O SOLE
56
TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) DEJONIZACJA PRACA
57
TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) DEJONIZACJA -KATIONIT K+ Na+ Ca2+ Na
58
TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) DEJONIZACJA -KATIONIT K+ K Na+ Ca2+ Ca Na
59
TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) DEJONIZACJA -ANIONIT Cl- SO 4 -HCO 3 -
60
TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) DEJONIZACJA -ANIONIT Cl Cl- SO 4 SO 4 - HCO 3 -
61
TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) REGENERACJA JONITÓW REGENERACJA
62
TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) REGENERACJA -KATIONIT HCl K Ca NaHCl Ca Na KKK
63
TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) DEJONIZACJA -KATIONIT KCl NaClCaCl 2 NaCl
64
TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) REGENERACJA -ANIONIT Cl SO 4 NaOH Cl SO 4
65
TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) DEJONIZACJA -KATIONIT NaCl Na 2 SO 4
66
TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) OCZYSZCZANIE WODY DEJONIZATORY
67
TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) DEJONIZATORY KATIONIT ANIONIT Dwukolumnowy układ dejonizatora
68
TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) DEJONIZATORY KATIONIT ANIONIT WĘGIEL 10 m FILTRACJA WSTĘPNA Trzykolumnowy układ dejonizatora
69
TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) DEJONIZATORY Pięciokolumnowy układ dejonizatora 10 m FILTRACJA WSTĘPNA KATIONIT ANIONIT KATIONIT ANIONIT ZŁOŻE MIESZ.
70
TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) DEJONIZATORY Trzykolumnowy układ dejonizatora 10 m FILTRACJA WSTĘPNA ZŁOŻE MIESZ. ZŁOŻE MIESZ
71
TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) SYSTEM DEJONIZACJI CIĄGŁEJ
72
TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) SYSTEM DEJONIZACJI CIĄGŁEJ + - ANODA KATODA KOLUMNA PÓŁPRZEWODZĄCA DLA ANIONÓW MEMBRANA
73
TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) SYSTEM DEJONIZACJI CIĄGŁEJ + + + + + + + + + + - - - - - - - - - - - - - -+ + + + WODA ZANIECZYSZCZONA
74
TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) SYSTEM DEJONIZACJI CIĄGŁEJ + + + + + + + + - - - - - - - - - + - + - WODA ZANIECZYSZCZONA WODA OCZYSZCZONA STRUMIEŃ WODY WYMYWAJĄCY JONY +
75
TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) SYSTEM DEJONIZACJI CIĄGŁEJ + - WODA OCZYSZCZONA WODA ZANIECZYSZCZONA STRUMIEŃ WODY WYMYWAJĄCY JONY ANODA KATODA - - - - - - - - + + + + + + ++ + +
76
TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) SYSTEM DEJONIZACJI CIĄGŁEJ REZYSTYWNOŚĆ WODY DI CZAS UŻYTKOWANIA ZŁOŻA W systemie CDI nie występuje potrzeba okresowej regeneracji złoża
77
TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) SYSTEM DEJONIZACJI CIĄGŁEJ REZYSTYWNOŚĆ WODY DI CZAS UŻYTKOWANIA ZŁOŻA W systemie CDI nie występuje potrzeba okresowej regeneracji złoża W systemie konwencjonalnym następuje moment „wyczerpania się” złoża
78
TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) SYSTEM DEJONIZACJI CIĄGŁEJ REZYSTYWNOŚĆ WODY DI CZAS UŻYTKOWANIA ZŁOŻA W systemie CDI nie występuje potrzeba okresowej regeneracji złoża REGENERACJA
79
TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) SYSTEM DEJONIZACJI CIĄGŁEJ REZYSTYWNOŚĆ WODY DI CZAS UŻYTKOWANIA ZŁOŻA W systemie CDI nie występuje potrzeba okresowej regeneracji złoża REGENERACJA
80
TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) KONDUKTOMETRY CIECZOWE
81
TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) KONDUKTOMETRY CIECZOWE GŁOWICA SZKLANA OSLONA PLATYNOWE ELEKTRODY 000 S KONDUKTOMETR
82
TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) KONDUKTOMETRY CIECZOWE 150 S KONDUKTOMETR
83
TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) KONDUKTOMETRY CIECZOWE 17°C KONDUKTOMETR
84
TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) KONDUKTOMETRY CIECZOWE 000,00 S ELEKTRODY PLATYNOWE
85
TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) KONDUKTOMETRY CIECZOWE 040,00 S WODA
86
TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) INSTALACJE DO OCZYSZCZANIA WODY
87
TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) INSTALACJE DO OCZYSZCZANIA WODY Filtracja wstępna Oczyszczanie osmotyczne Odgazowanie dejonizacja wstępna (4-16)M cm ZBIORNIK Dejonizacja końcowa Sterylizacja ultrafioletem UV Filtracja na filtrach sub- mikronowych PUNKT UŻYCIA 18 M cm Neutralizacja
88
TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) INSTALACJE DO OCZYSZCZANIA WODY STERYLIZACJA ULTRAFIOLETEM ŻYCIE BIOLOGICZNE
89
TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) INSTALACJE DO OCZYSZCZANIA WODY STERYLIZACJA ULTRAFIOLETEM
90
TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) USUWANIE ZANIECZYSZCZEŃ MECHANICZNYCH FILTRACJA
91
TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FILTRACJA SiO 2 n+ Si typ p Al D G S (0.3 –0.18) m
92
TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FILTRACJA SiO 2 n+ Si typ p Al D G S (0.3 –0.18) m Cząstki dymu tytoniowego
93
TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FILTRACJA SiO 2 n+ Si typ p Al D G S (0.3 –0.18) m 0.1 m 0.3 m
94
TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FILTRACJA SiO 2 n+ Si typ p Al D G S (0.3 –0.18) m Włos ludzki 60 m
95
TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FILTRACJA 100 m 80 m 60 m 40 m 20 m 10 m WŁOS LUDZKI NAJMNIEJSZE OBIEKTY WIDZIALNE OKIEM LUDZKIM MIKROSKOP OPTYCZNY
96
TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FILTRACJA 10 m 8m8m 6m6m 4m4m 2m2m 1m1m ERYTROCYTY NAJMNIEJSZE KOLONIE GRZYBÓW MIKROSKOP OPTYCZNY
97
TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FILTRACJA 1m1m 0.8 m 0.6 m 0.4 m 0.2 m 0.1 m DYM TYTONIOWY NAJMNIEJSZE BAKTERIE MIKROSKOP OPTYCZNY MIKROSKOP ELEKTRON.
98
TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FILTRACJA 0.1 m 0.08 m 0.06 m 0.04 m 0.02 m 0.01 m CZĄSTKI SADZY WIRUS POLIO MIKROSKOP ELEKTRON.
99
TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FILTRACJA FILTRACJA PRZY WYKORZYSTANIU FILTRÓW MEMBRANOWYCH
100
TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FILTRACJA OBUDOWA FILTRU FILTR USZCZELKI TEFLONOWE WLOT WYLOT
101
TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FILTRACJA FILTR MILLIPORE średnica porów 0.2 m WLOT WYLOT Na filtrze zostaną „wychwycone” zanieczyszczenia o średnicach powyżej 0.2 m
102
TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FILTRACJA Wielkości porów filtrów produkowanych przez firmę MILLIPORE 14 m 5 m 3 m 1.2 m 0.45 m 0.22 m 0.10 m 0.05 m 0.025 m Informacja zaczerpnięta z katalogów wyrobów firmy MILLIPORE
103
TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FILTRACJA ZESTAWY FILTRACYJNE W SYSTEMIE DYSTRYBUCJI GAZÓW
104
TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FILTRACJA - ZESTAWY TLEN AZOT POWIETRZE KOMORA ROBOCZA FILTR WSTĘPNY TYP ITYP II FILTRY KOŃCOWE
105
TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FILTRACJA - ZESTAWY KOMORA ROBOCZA FILTR KOŃCOWY TYP I TYP II SiH 4 PH 3 SiCl 4 SZAFA GAZOWA WYCIĄG Gazy specjalne
106
TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FILTRACJA FILTRACJA ODCZYNNIKÓW CHEMICZNYCH
107
TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FILTRACJA Na drodze „od producenta” odczynników chemicznych dla elektroniki do „punktu użycia (point of use)” dany materiał (preparat) podlega wielokrotnej filtracji PRODUCENT ODCZYNNIKÓW PUNKT UŻYCIA (POINT OF USE) FILTRACJA
108
TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FILTRACJA – ODCZYNNIKI CHEMICZNE FILTRACJA WSTĘPNA 13245 FILTRACJA POCZĄTKOWA FILTRACJA ZASADNICZA FILTRACJA KOŃCOWA FILTRACJA „POINT OF USE” SPADEK ILOŚCI ZANIECZYSZCZEŃ MECHANICZNYCH
109
TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FILTRACJA – ODCZYNNIKI CHEMICZNE WYTWARZANIE MATERIAŁÓW Z ODCZYNNIKÓW CHEMICZNYCH PRZEPAKOWYWANIE WYTWARZANIE ODCZYNNIKÓW 1 3 24 4 555 1l1l1l1l 1l1l1l1l 1l1l1l1l 55 gal.
Podobne prezentacje
© 2024 SlidePlayer.pl Inc.
All rights reserved.