Metody wytwarzania i pomiaru próżni Wydział Górnictwa i Geoinżynierii GiG grupa 1 Wykonał: Piotr Lasota www.agh.edu.pl
Próżnia – definicja Stan, jaki panuje w obszarze wypełnionym gazami i pyłami, gdy ich ciśnienie (koncentracja) jest niższe niż ciśnienie powietrza atmosferycznego.
Rodzaje próżni Rodzaje próżni Ciśnienie [Pa] Występowanie Próżnia techniczna 105 - 103 W żarówkach Próżnia niska i średnia 103 - 10-1 W lampach wyładowczych Próżnia wysoka (HV) 10-1 - 10-5 W lampach elektronowych Próżnia ultrawysoka (UHV) 10-5 - 10-10 Badanie powierzchni ciał stałych Próżnia ekstremalnie wysoka (XHV) 10-10 - 10-15 Specjalne zastosowania Przestrzeń kosmiczna 10-4 - 10-15
Podział pomp: Sorpcyjne i kondensacyjne Mechaniczne Strumieniowe
Pompa rotacyjna łopatkowa
Fazy pracy
Pompa rotacyjna suwakowa
Fazy pracy
Pompa turbomolekularna Wygląd rzeczywisty
Schemat ideowy pompy jonowej Pompa jonowa Schemat ideowy pompy jonowej
Rodzaje próżniomierzy Mechaniczne Jonizacyjne z gorącymi katodami Rurkowe Termomolekularne Membranowe Hydrostatyczne Rtęciowe Olejowe Dubrovina Cieplnoprzewodnościowe Kompresyjne Oporowe
Próżniomierz oporowy
Głowica Bayarda-Alperta
Przykładowe zastosowanie próżni
Dziękuje za uwagę !
Literatura J. Groszkowski, Technika wysokiej próżni, A. Hałas, Technologia wysokiej próżni, www.nano.scienceontheweb.net