Pobieranie prezentacji. Proszę czekać

Pobieranie prezentacji. Proszę czekać

Podstawy Metrologii Prof. Jan Zakrzewski Instytut Metrologii i Automatyki Elektrotechnicznej Akademicka 10 (Bud. Prof. Fryzego), pok.23 Wykłady: 1.10.

Коpie: 2
Czujniki do pomiaru ciśnień Mierzy się:a) nadciśnienie b) ciśn. absolutne c) różnicę ciśnień Metoda pomiaru : Mierzy się odkształcenie elementu sprężystego.

Czujniki do pomiaru ciśnień Mierzy się:a) nadciśnienie b) ciśn. absolutne c) różnicę ciśnień Metoda pomiaru : Mierzy się odkształcenie elementu sprężystego.

Podobne prezentacje


Prezentacja na temat: "Podstawy Metrologii Prof. Jan Zakrzewski Instytut Metrologii i Automatyki Elektrotechnicznej Akademicka 10 (Bud. Prof. Fryzego), pok.23 Wykłady: 1.10."— Zapis prezentacji:

1

2 Podstawy Metrologii Prof. Jan Zakrzewski Instytut Metrologii i Automatyki Elektrotechnicznej Akademicka 10 (Bud. Prof. Fryzego), pok.23 Wykłady: Modele pomiaru, pojęcia podstawowe 8.10 Systemy pomiarowe, struktury i interfejsy Niepewność pomiaru (SPR) Czujniki ciśnień, technologie mikroelektroniczne Pomiary strumienia masy i objętości Pomiary przemieszczeń i parametrów ruchu (SPR) Pomiary temperatur, dynamika pomiarów M-T 1 Lit: Zakrzewski J.: Podstawy miernictwa dla kierunku mechanicznego. Wyd. Pol.Śl. Gliwice 2004

3 Podstawy Metrologii Prof. Jan Zakrzewski Instytut Metrologii i Automatyki Elektrotechnicznej Akademicka 10 (Bud. Prof. Fryzego), pok.23 Wykłady: Modele pomiaru, pojęcia podstawowe Systemy pomiarowe, Struktury i interfejsy, niepewność pomiaru (SPR) Czujniki ciśnień, technologie mikroelektroniczne Pomiary strumienia masy i objętości (SPR) Pomiary przemieszczeń i parametrów ruchu M-T 1 Lit: Zakrzewski J.: Podstawy miernictwa dla kierunku mechanicznego. Wyd. Pol.Śl. Gliwice 2004

4 Czujniki do pomiaru ciśnień Mierzy się:a) nadciśnienie b) ciśn. absolutne c) różnicę ciśnień Metoda pomiaru : Mierzy się odkształcenie elementu sprężystego ciśnieniomierza Elementy sprężystea) membrany, b) puszki, c) mieszki, d) rurki

5 Elementy odkształcalne rurkowe JednorodnaBourdona Z wewnętrznym trzpieniemAsymetryczna

6 Elementy odkształcane -puszkowe pojedynczewielokrotne

7 Elementy odkształcalne mieszkowe

8 Elementy odkształcane - membrany cienka falistagruba

9 Indukcyjnościowe czujniki ciśnień

10 Tensometryczny czujnik ciśnienia - z mechanicznym elementem przeniesienia siły p

11 Tensometryczny czujnik ciśnień rurowy p

12 p Tensometryczne czujniki ciśnień z membraną

13 właściwości: od 10 kPa do 50 MPa zakres: 60 do 130 kHz częstotl.własna: 0,3%nieliniowość: 0,3%histereza: 175%przeciążalność:membrana: 5 do 30 mm 5 do 30 mm Tensometryczny czujnik ciśnień 2 mV/V Efektywnośćprzetwarzaniasygnału:

14 Pojemnościowe czujniki ciśnień Okł. ruchoma Obudowa Okł.nieruchoma Z przewarzaniem na częstotliwość

15 Pojemnościowy różnicowy czujnik ciśnień p1p1p1p1 p2p2p2p2 C1C1C1C1 C2C2C2C2 Membranyseparujące Wypełnienieolejowe

16 zakres: 0,2 do 42 MPa Pojemność pomiędzy okładkami : 10 pF Zmiana pojemności: 1 pF parametry: Pojemnościowe czujniki ciśnień Pojemnościowe różnicowe czujniki ciśnień parametry: od 70 do 350 kPa zakresy: 2,5 V 2,5 V wyjście: 0,1%nieliniowość: 0,1%histereza: 0,03%powtarzalność: wypełnienie:olej

17

18 MIKROMECHANIKA KRZEMOWA

19 WŁAŚCIWOŚCI MECHANICZNE KRZEMU MODUŁ YOUNGA WYTRZYMAŁOŚĆ SZKŁO N/m ALUMINIUM 7 10 N/m 0,17 10 N/m ŻELAZO N/m 0,710 N/m STAL 2010 N/m 2,110 N/m KRZEM 1910 N/m 710 N/m 10292

20 WŁASNOŚCI MECHANICZNE KRZEMU Twardość w skali Mohsa 1. Talk - bardzo miękki minerał, można go łatwo zarysować ludzkim paznokciem 2. Gips - można go zarysować paznokciem aczkolwiek z trudem 3. Kalcyt - można go zarysować monetą 4. Fluoryt - można go łatwo zarysować ostrzem noża 5. Apatyt - można go z trudem zarysować ostrzem stalowym, zaś nim samym można z trudnością zarysować szkło 6. Ortoklaz - można nim łatwo zarysować szkło 7. Kwarc (tlenek krzemu) - można nim łatwo zarysować szkło i stal 8. Topaz - można nim łatwo zarysować kwarc 9. Korund - można nim łatwo zarysować kwarc oraz topaz 10. Diament - najtwardsza substancja spośród występujących w przyrodzie

21 PŁASZCZYZNY KRYSTALOGRAFICZNE x z y (100) x z y (111) x z y (110)

22 WYTWORZENIE MEMBRANY KRZEMOWEJ I etap UTLENIANIE Si SiO 2

23 WYTWORZENIE MEMBRANY KRZEMOWEJ II etap FOTOLITOGRAFIA SiO 2 Maska Fotoresist Si

24 WYTWORZENIE MEMBRANY KRZEMOWEJ III etap FOTOLITOGRAFIA SiO 2 Maska Fotoresist Si

25 IV etap TRAWIENIE KRZEMU WYTWORZENIE MEMBRANY KRZEMOWEJ Si

26 ANIZOTROPOWE TRAWIENIE KRZEMU 1) 54.7 Si SiO 2 (rezyst)

27 Czujniki piezorezystywne ciśnienia oparte są na pomiarze naprężeń proporcjonalnych do różnicy ciśnień występujących po obu stronach membrany. Naprężenia mierzone są przy pomocy piezorezystorów (rezystorów dyfuzyjnych wykonanych w membranie). Efekt piezorezystywny jest silnie anizotropowy i mocno zależy od orientacji krystalograficznej.

28 Si warstwa p + FOSFOR WYTWORZENIE STRUKTURY CZUJNIKA SiO 2

29 Si warstwa p + SiO 2 REZYSTOR WYTWORZENIE STRUKTURY CZUJNIKA

30 STRUKTURA CZUJNIKA UKŁAD MOSTKOWY REZYSTORÓW 1 mm REZYSTOR

31 UKŁAD MOSTKOWY REZYSTORÓW R 1 R 3 R 2 R 4 U Z

32 PODŁOŻE SZKLANE Si CIŚNIENIE NIŻSZE Si CIŚNIENIE WYŻSZE

33 Si ZINTEGROWANY CZUJNIK CIŚNIENIA PODŁOŻE SZKLANE STRUKTURA TRANZYSTORA BIPOLARNEGO K E B STRUKTURA CZUJNIKA

34 POJEMNOŚCIOWY CZUJNIK CIŚNIENIA Si PODŁOŻE SZKLANE ELEKTRODY MEMBRANA

35 POJEMNOŚCIOWY CZUJNIK DOTYKOWY PODŁOŻE SZKLANE MEMBRANA ELEKTRODY Si A A

36 WYTWORZENIE BELKI KRZEMOWEJ I etap UTLENIANIE Si SiO 2

37 II etap DOMIESZKOWANIE BOREM WYTWORZENIE BELKI KRZEMOWEJ Si BOR

38 III etap UTLENIANIE I FOTOLITOGRAFIA warstwa p + WYTWORZENIE BELKI KRZEMOWEJ Si

39 Piezorezystancyjnye czujniki ciśnień f-my Kleber absolutnywzględny

40 Różnicowy, medium doprowadzone dwystronnie Względny, medium doprowadzone jednostronnie Piezorezystancyjnye czujniki ciśnień f-my Kleber

41 Nowe możliwości softwerowe Wyświetlacze typu LCD, sygnały ostrzegawecze kompatybilne ze standardem NAMUR i możliwość nastawienia granic przekroczenia zakresu. Obudowa elektroniki Kompatybilna ze standardem Fieldbus, pozostawia dużo miejsca na przewody Moduł z czujnikiem Spawana metalowa obudowa Płytka z elektroniką Ma obudowaną konstrukcję typu plug-in i ulepszone zamocowanie Przetwornik ciśnienia 3051 Przyłącze procesowe Listwa zaciskowa Zawiera trzy zaciski w zwartej konstrukcji typu plug-in Przyciski do nastawienia zera i zakresu Bardzo prosta obsługa

42


Pobierz ppt "Podstawy Metrologii Prof. Jan Zakrzewski Instytut Metrologii i Automatyki Elektrotechnicznej Akademicka 10 (Bud. Prof. Fryzego), pok.23 Wykłady: 1.10."

Podobne prezentacje


Reklamy Google