Pobieranie prezentacji. Proszę czekać

Pobieranie prezentacji. Proszę czekać

METODA POMIARU NARZĘDZIE POMIAROWE ODTWARZANIE MEZURANDU X M M* N Z V Mezurand M Stała (przyrządu) Rozdzielczość Selektywność Zakres pomiarowy M min M.

Podobne prezentacje


Prezentacja na temat: "METODA POMIARU NARZĘDZIE POMIAROWE ODTWARZANIE MEZURANDU X M M* N Z V Mezurand M Stała (przyrządu) Rozdzielczość Selektywność Zakres pomiarowy M min M."— Zapis prezentacji:

1 METODA POMIARU NARZĘDZIE POMIAROWE ODTWARZANIE MEZURANDU X M M* N Z V Mezurand M Stała (przyrządu) Rozdzielczość Selektywność Zakres pomiarowy M min M max X min X max Powtarzalność Czułość S = N/X Procedura pomiarowa

2

3 Elementy odkształcalne rurkowe JednorodnaBourdona Z wewnętrznym trzpieniemAsymetryczna

4 Elementy odkształcalne mieszkowe

5 Indukcyjnościowe czujniki ciśnień

6 Tensometryczny czujnik ciśnienia - z mechanicznym elementem przeniesienia siły p

7 Tensometryczny czujnik ciśnień rurowy p

8 Mikromechanika Krzemowa MEMS Krzem Współczynnik poissona – taki jak dla stali Wytrzymałość – 2,5 raza wieksza Brak histerezy mechanicznej Duża przewodność cieplna

9 WYTWORZENIE MEMBRANY KRZEMOWEJ I etap UTLENIANIE Si SiO 2

10 WYTWORZENIE MEMBRANY KRZEMOWEJ II etap DOMIESZKOWANIE BOREM Si BOR SiO 2

11 WYTWORZENIE MEMBRANY KRZEMOWEJ III etap FOTOLITOGRAFIA SiO 2 Maska Fotoresist Si

12 IV etap TRAWIENIE KRZEMU WYTWORZENIE MEMBRANY KRZEMOWEJ Si

13 WYTWORZENIE MEMBRANY KRZEMOWEJ V etap TRAWIENIE SiO I UTLENIANIE 2 Si SiO 2

14 Si warstwa p + FOSFOR WYTWORZENIE STRUKTURY CZUJNIKA SiO 2

15 Si warstwa p + SiO 2 PIEZOREZYSTOR WYTWORZENIE STRUKTURY CZUJNIKA

16 Czujniki piezorezystywne ciśnienia oparte są na pomiarze naprężeń proporcjonalnych do różnicy ciśnień występujących po obu stronach membrany. Naprężenia mierzone są przy pomocy piezorezystorów (rezystorów dyfuzyjnych wykonanych w membranie). Efekt piezorezystywny jest silnie anizotropowy i mocno zależy od orientacji krystalograficznej.

17 Płaszczyzna c) x z y (100) x z y (110) x z y (111) ANIZOTROPIA CZUŁOŚCI PIEZOREZYSTORÓW

18 STRUKTURA CZUJNIKA UKŁAD MOSTKOWY REZYSTORÓW 1 mm PIEZOREZYSTORY

19 UKŁAD MOSTKOWY REZYSTORÓW R 1 R 3 R 2 R 4 U Z

20 PODŁOŻE SZKLANE Si CIŚNIENIE NIŻSZE Si CIŚNIENIE WYŻSZE

21 Si ZINTEGROWANY CZUJNIK CIŚNIENIA PODŁOŻE SZKLANE STRUKTURA TRANZYSTORA BIPOLARNEGO K E B STRUKTURA CZUJNIKA

22 POJEMNOŚCIOWY CZUJNIK CIŚNIENIA Si PODŁOŻE SZKLANE ELEKTRODY MEMBRANA

23 CZUJNIK POJEMNOŚCIOWY PODŁOŻE SZKLANE MEMBRANA ELEKTRODY Si A A

24

25 Piezorezystancyjnye czujniki ciśnień f-my Kleber absolutnywzględny

26 Różnicowy, medium doprowadzone dwustronnie Względny, medium doprowadzone jednostronnie Piezorezystancyjnye czujniki ciśnień f-my Kleber

27 Nowe możliwości softwerowe. Wyświetlacze typu LCD, sygnały ostrzegawecze kompatybilne ze standardem NAMUR i możliwość nastawienia granic przekroczenia zakresu. Obudowa elektroniki Kompatybilna ze standardem Fieldbus, pozostawia dużo miejsca na przewody Moduł z czujnikiem Spawana metalowa obudowa Płytka z elektroniką Ma obudowaną konstrukcję typu plug-in i ulepszone zamocowanie Przetwornik ciśnienia 3051 Przyłącze procesowe Listwa zaciskowa Zawiera trzy zaciski w zwartej konstrukcji typu plug-in Przyciski do nastawienia zera i zakresu Bardzo prosta obsługa

28 Półprzewodnikowe czujniki przyśpieszenia

29 Mechaniczny czujnik przyśpieszenia typu ball in tube

30

31

32 Zawieszenie rozciągane Zawieszenie zginane Elektryczny czujnik przyśpieszenia typu ADXL produkcji Analog Devices w technologii MEMS Miejsca zamocowania

33

34

35

36

37

38

39

40

41

42

43 Budowa wewnętrzna sterownika systemu SRS 1 – czujnik przyspieszeń 2 – włącznik bezpieczeństwa 3 – układ podtrzymania napięcia zasilającego (awaryjnego) 4 – układ ASIC 5 - mikrokontroler

44 Koncepcja nowoczesnego systemu poduszek powietrznych firmy Bosch

45 Detekcja dachowania- Bosch

46

47 Charakterystyki napełniania poduszki o ładunku dwustopniowym - a, i o dwóch ładunkach – b

48

49 Czujniki temperatury

50 Rezystancyjne czujniki temperatury metalowepółprzewodnikowe termistorymonokryst. KTY PTCNTC RTDSPRT

51 Współczynnik temperaturowy rezystancji Współczynnik temperaturowy rezystancji Względny przyrost rezystancji przy zmianie temperatury o 1K (lub o 1 C) w zakresie 0 C do 100 C Europa =0,385USA =0,392 Np. Dla platyny

52 Właściwości termometrów metalowych Materiał : platyna (Pt100) (Pt 1000) (Pt 1000) (Pt 500) (Pt 500) Ni, (Cu) Zakres pomiarowy: platyna: (- 220 do 850) C nikiel : ( - 50 do 150) C Niepewnośćczujnika związana z jego klasą wg IEC 751 PN-EN-60751

53 Termometry rezystancyjne metalowe

54 NTC = - B/T 2 = - B/T 2 Współczynnik temperaturowy rezystancji termistorów Współczynnik temperaturowy rezystancji termistorów B - Stała materiałowa, 2000 do 4000 K R R 25 t 25

55 - rezystywność, =ok. 7 cm - rezystywność, =ok. 7 cm D - średnica styku Termometry KTY Styki poli -Si o średnicy ok. 20 m Izolacja SiO 2 ok. 0.5 mm Krzem Metalizacja strony spodniej Obszary domieszkowane typu n

56 Czujnik diodowy U IDID ΔU I D2 I D1

57 Czujniki termoelektryczne Zasada działania: Powstawanie siły termoelektrycznej przy istnieniu gradientu temperatury wzdłuż przewodnika gradientu temperatury wzdłuż przewodnika U te = T Mat A Mat B Mat A złącze ciepłe złącze zimne

58 Właściwości termometrów termoelektrycznych Termopary szlachetne Typ i materiał: S: PtRh10 - Pt R: PtRh13 - Pt B: PtRh30 - Pt Zakresypomiarowe: S i R -50 C C dorywczo 1760 C STE -0, mV, B +100 C C dorywczo 1800 C STE do 13,8 mV Materiał WRe5- WRe26WRe5- WRe26 Termopara wysokotemperaturowa Zakres pomiarowy: (2700) C, STE 40,7 mV

59 Właściwości termometrów termoelektrycznych Materiał: T: + miedź (Cu) konstantan (Cu+Ni), J: + żelazo (Fe) konstantan (Cu+Ni), K: + chromel (Ni+Cr) alumel (Ni+Al) N: + (Ni + Cr + Si) (Ni+ Si) Zakresypomiarowe: T: (-270 do 400) C, J: (-210 do 12O0) C, K: (-270 do 1250) C, N: (-270 do 1300) C Wykonanie czujniki zanurzeniowe czujniki zanurzeniowe czujniki temperatury powierzchni czujniki temperatury powierzchni Średnica drutu: (0,4 do 4) mm (0,4 do 4) mm STE: (-6 do 20) mV, STE: (-8,1 do 69,5) mV, STE: (-6,5 do 50,6) mV, STE: (-4,3 do 47,5) mV

60 Wykonania termometrów termoelektrycznych Wykonania termometrów termoelektrycznych

61 Wykonania termometrów termoelektrycznych

62


Pobierz ppt "METODA POMIARU NARZĘDZIE POMIAROWE ODTWARZANIE MEZURANDU X M M* N Z V Mezurand M Stała (przyrządu) Rozdzielczość Selektywność Zakres pomiarowy M min M."

Podobne prezentacje


Reklamy Google