Pobierz prezentację
Pobieranie prezentacji. Proszę czekać
1
opracowanie technik mikrofabrykacji wielowarstwowych układów mikroprzepływowych
Piotr Garstecki, Adam Samborski Grupa Badawcza Mikroprzepływów i Płynów Złożonych Instytut Chemii Fizycznej PAN Kwantowe Nanostruktury Półprzewodnikowe do Zastosowań w Biologii i Medycynie sesja sprawozdawcza 04/2009 Instytut Chemii Fizycznej PAN, Warszawa, 7/4/2009
2
mikro obróbka skrawaniem
technologia mikrofabrykacji miękka litografia mikro obróbka skrawaniem 5 mm
3
litografia
4
Litografia -- projekt
5
Litografia - maski
6
Litografia - matryce
7
Litografia - stemple
8
Litografia - bonding
9
Litografia – gotowy układ
10
układy frezowane -- projekt
11
układy frezowane -- frezowanie
12
układy frezowane -- zgrzewanie
13
układy frezowane – gotowy układ
14
układy frezowane – gotowy układ
15
układy frezowane – gotowy układ
16
jesteśmy gotowy do integrowania sensorów
z układami wykonanymi technikami litograficznymi mikro obróbki skrawaniem 5 mm
Podobne prezentacje
© 2024 SlidePlayer.pl Inc.
All rights reserved.