FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII POMPY PRÓŻNIOWE

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII POMPY PRÓŻNIOWE – SYMBOL OGÓLNY Vacuum pump

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII POMPY PRÓŻNIOWE – ZAKRES PRACY ULTRAWYSOKA PRÓŻNIA WYSOKA PRÓŻNIA ŚREDNIA PRÓŻNIA NISKA PRÓŻNIA 10 -14 10 -13 10 -12 10 -11 10 -10 10 -9 10 -8 10 -7 10 -6 10 -5 10 -4 10 -3 10 -2 10 -1 10 10 1 10 2 p [mbar]

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII POMPY PRÓŻNIOWE Mechaniczne pompy próżniowe Strumieniowe pompy próżniowe Bezwylotowe pompy próżniowe

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII POMPY PRÓŻNIOWE Mechaniczne pompy próżniowe

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII POMPY PRÓŻNIOWE Strumieniowe pompy próżniowe

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII POMPY PRÓŻNIOWE Bezwylotowe pompy próżniowe

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII MECHANICZNE POMPY PRÓŻNIOWE

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII POMPY PRÓŻNIOWE OBJĘTOŚCIOWA POMPA OLEJOWA

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII MECHANICZNA POMPA OLEJOWA Rotary vacuum pump

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII MECHANICZNA POMPA OLEJOWA – ZAKRES PRACY ULTRAWYSOKA PRÓŻNIA WYSOKA PRÓŻNIA ŚREDNIA PRÓŻNIA NISKA PRÓŻNIA 10 -14 10 -13 10 -12 10 -11 10 -10 10 -9 10 -8 10 -7 10 -6 10 -5 10 -4 10 -3 10 -2 10 -1 10 10 1 10 2 p [mbar]

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII OBJĘTOŚCIOWA POMPA OLEJOWA ZAWÓR WYLOTOWY WLOT WYLOT PRZEWÓD WLOTOWY SZCZELINA <0.05 mm KANAŁ OLEJOWY SPRĘŻYNA WIRNIK ŁOPATKA STATOR

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII OBJĘTOŚCIOWA POMPA OLEJOWA BUDOWA

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII OBJĘTOŚCIOWA POMPA OLEJOWA ZAWÓR WYLOTOWY WLOT WYLOT PRZEWÓD WLOTOWY Pompa mocowana jest w zbiorniku z olejem, którego poziom powinien znajdować się powyżej wylotu pompy OLEJ STATOR

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII OBJĘTOŚCIOWA POMPA OLEJOWA ZAWÓR WYLOTOWY WLOT WYLOT PRZEWÓD WLOTOWY SZCZELINA <0.05 mm WIRNIK STATOR

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII OBJĘTOŚCIOWA POMPA OLEJOWA ZAWÓR WYLOTOWY WLOT WYLOT PRZEWÓD WLOTOWY SZCZELINA <0.05 mm SPRĘŻYNA WIRNIK ŁOPATKA STATOR

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII OBJĘTOŚCIOWA POMPA OLEJOWA ZAWÓR WYLOTOWY WLOT WYLOT PRZEWÓD WLOTOWY SZCZELINA <0.05 mm KANAŁ OLEJOWY SPRĘŻYNA WIRNIK ŁOPATKA STATOR

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII OBJĘTOŚCIOWA POMPA OLEJOWA ZASADA DZIAŁANIA

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII OBJĘTOŚCIOWA POMPA OLEJOWA ZAWÓR WYLOTOWY WLOT WYLOT Komora zasysania Zasysanie gazu

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII OBJĘTOŚCIOWA POMPA OLEJOWA ZAWÓR WYLOTOWY WLOT WYLOT Komora zasysania Zasysanie gazu

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII OBJĘTOŚCIOWA POMPA OLEJOWA ZAWÓR WYLOTOWY WLOT WYLOT Zasysanie gazu

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII OBJĘTOŚCIOWA POMPA OLEJOWA ZAWÓR WYLOTOWY WLOT WYLOT Komora przetaczania Przetaczanie gazu

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII OBJĘTOŚCIOWA POMPA OLEJOWA ZAWÓR WYLOTOWY WLOT WYLOT Sprężanie gazu Komora sprężania

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII OBJĘTOŚCIOWA POMPA OLEJOWA ZAWÓR WYLOTOWY WLOT WYLOT Sprężanie gazu

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII OBJĘTOŚCIOWA POMPA OLEJOWA ZAWÓR WYLOTOWY WLOT WYLOT Otwarcie zaworu wylotowego „wydech” gazu

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII OBJĘTOŚCIOWA POMPA OLEJOWA Ciśnienie gazu przy którym otwiera się zawór wylotowy: Ciśnienie końcowe na wlocie pompy:

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII OBJĘTOŚCIOWA POMPA OLEJOWA Stopień kompresji: Ciśnienie końcowe (na wlocie) jest teoretycznie ograniczone tylko stopniem kompresji

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII OBJĘTOŚCIOWA POMPA OLEJOWA Praktycznie – ciśnienie końcowe jest większe od teoretycznego. Przyczyną jest istnienie: przepływu wstecznego gazu

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII OBJĘTOŚCIOWA POMPA OLEJOWA ZAWÓR WYLOTOWY WLOT WYLOT Strumień wsteczny gazu

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII OBJĘTOŚCIOWA POMPA OLEJOWA Przyczyny przepływu wstecznego: Istnienie objętości martwej Nieszczelność na styku wirnika ze statorem Nieszczelność na styku łopatki ze statorem Gaz rozpuszczony w oleju przedostaje się do wnętrza pompy 1 2 3 4 1 2 3 4

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII OBJĘTOŚCIOWA POMPA OLEJOWA ROZWAŻANIA TEORETYCZNE

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII OBJĘTOŚCIOWA POMPA OLEJOWA - ROZWAŻANIA TEORETYCZNE Natężenie przepływu przez pompę I I – natężenie przepływu Sg – „geometryczna” szybkość pompowania p – chwilowe ciśnienie na wlocie pompy IW – natężenie przepływu wstecznego

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII OBJĘTOŚCIOWA POMPA OLEJOWA - ROZWAŻANIA TEORETYCZNE Po „nieskończenie” długim czasie pompowania I=0 p=pn pn – ciśnienie na wlocie pompy po nieskończenie długim czasie pompowania

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII OBJĘTOŚCIOWA POMPA OLEJOWA - ROZWAŻANIA TEORETYCZNE Wartość przepływu wstecznego I=0 p=pn pn – ciśnienie na wlocie pompy po nieskończenie długim czasie pompowania

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII OBJĘTOŚCIOWA POMPA OLEJOWA - ROZWAŻANIA TEORETYCZNE Pojęcie „teoretycznej” szybkości pompowania St I Sg – „geometryczna” szybkość pompowania

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII ZALEŻNOŚĆ POMIĘDZY TEORETYCZNĄ A GEOMETRYCZNĄ SZYBKOŚCIĄ POMPOWANIA

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII OBJĘTOŚCIOWA POMPA OLEJOWA - ROZWAŻANIA TEORETYCZNE Teoretyczna szybkość pompowania St

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII OBJĘTOŚCIOWA POMPA OLEJOWA - ROZWAŻANIA TEORETYCZNE Teoretyczna szybkość pompowania St

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII OBJĘTOŚCIOWA POMPA OLEJOWA - ROZWAŻANIA TEORETYCZNE Teoretyczna szybkość pompowania St

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII OBJĘTOŚCIOWA POMPA OLEJOWA - ROZWAŻANIA TEORETYCZNE Teoretyczna szybkość pompowania St

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII SZYBKOŚĆ TEORETYCZNA SZYBKOŚĆ GEOMETRYCZNA

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII SZYBKOŚĆ TEORETYCZNA, SZYBKOŚĆ GEOMETRYCZNA Maksymalna objętość pompy (maksymalna objętość gazu możliwa do odpompowania w czasie jednego cyklu pracy pompy)

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII SZYBKOŚĆ TEORETYCZNA, SZYBKOŚĆ GEOMETRYCZNA Ilość gazu (pV) odpompowanego w czasie jednego, pełnego, obrotu wirnika

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII SZYBKOŚĆ TEORETYCZNA, SZYBKOŚĆ GEOMETRYCZNA całkowita, wolna objętość pompy dołączona do układu w czasie jednego pełnego obrotu wirnika objętość „martwa” pompy ciśnienie, przy którym otwiera się zawór wylotowy Współczynnik liczbowy uwzględniający zmniejszenie objętości martwej w wyniku obecności oleju VMAX VM p0 a

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII SZYBKOŚĆ TEORETYCZNA, SZYBKOŚĆ GEOMETRYCZNA

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII SZYBKOŚĆ TEORETYCZNA, SZYBKOŚĆ GEOMETRYCZNA

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII SZYBKOŚĆ TEORETYCZNA, SZYBKOŚĆ GEOMETRYCZNA

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII SZYBKOŚĆ TEORETYCZNA, SZYBKOŚĆ GEOMETRYCZNA

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII OSZACOWANIE, MOŻLIWEGO DO UZYSKANIA, CIŚNIENIA KOŃCOWEGO pn

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII CIŚNIENIE KOŃCOWE pn

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII CIŚNIENIE KOŃCOWE pn

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII CIŚNIENIE KOŃCOWE pn

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII CIŚNIENIE KOŃCOWE pn Jak zmniejszyć wartość ciśnienia końcowego w opróżnianym zbiorniku?

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII CIŚNIENIE KOŃCOWE pn 1. Zmniejszenie stosunku Vm/VMAX 2. Zmniejszenie współczynnika „a” 3. Zmniejszenie ciśnienia „p0” Stosowanie pomp dwustopniowych

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII POMPY DWUSTOPNIOWE WYLOT WLOT p0

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII CHARAKTERYSTYKI POMP 30 AL30 25 20 BL30 Szybkość pompowania „SR” [m3/h] 15 AL15 10 BL15 5 10 -2 10 -1 10 10 1 10 2 10 3 10 4 10 5 Chwilowe ciśnienie na wlocie pompy „p” [Pa]

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII RZECZYWISTA PRĘDKOŚĆ POMPOWANIA „SR”

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII RZECZYWISTA PRĘDKOŚĆ POMPOWANIA „SR” Rzeczywista prędkość pompowania jest mniejsza od prędkości teoretycznej r – współczynnik „napełniania”

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII RZECZYWISTA PRĘDKOŚĆ POMPOWANIA „SR” Ciśnienie gazu na wlocie pompy 1.0 p=1333Pa 0.8 p=133Pa 0.6 Współczynnik napełniania „r” p=53Pa 0.4 p=13.3Pa p=5.3Pa 0.2 p=2.6Pa 100 200 300 400 n[obr/min] Obroty wirnika „n”

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII RZECZYWISTA PRĘDKOŚĆ POMPOWANIA „SR” Ciśnienie gazu na wlocie pompy 1.0 [l/s] dla r=1 p=1333Pa 0.8 p=133Pa 0.6 Rzeczywista szybkość pomp. „Sr” p=53Pa 0.4 p=13.3Pa p=5.3Pa 0.2 p=2.6Pa 100 200 300 400 n[obr/min] Obroty wirnika „n”

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII EKSPLOATACJA POMP

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII EKSPLOATACJA POMP MECHANICZNYCH ZASADY EKSPLOATACJI POMP Między pompą i układem opróżnianym powinien być zainstalowany zawór umożliwiający odcięcie zbiornika od pompy i zapowietrzenie pompy z chwilą zatrzymania silnika pompy Wirniki pomp napędzane są silnikami trójfazowymi dlatego należy uważać na kierunek obrotów silnika Połączenie między pompą a zbiornikiem opróżnianym musi być połączeniem elastycznym (eliminującym przenoszenie drgań)

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII EKSPLOATACJA POMP MECHANICZNYCH ZASADY EKSPLOATACJI POMP 4. Wylot pompy musi być połączony z wyciągiem wentylacyjnym, co umożliwia usunięcie z pomieszczenia oleju z pompy 5. Na wlocie pompy należy stosować filtr siatkowy w celu zabezpieczenia pompy przez zanieczyszczeniami mechanicznymi

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII EKSPLOATACJA POMP PRZEWÓD ELASTYCZNY KOMORA PRÓŻNIOWA WYCIĄG FILTR POMPA POWIETRZE ZAWORY

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII POMPY PRÓŻNIOWE POMPA ROOT`A

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII POMPA ROOT`A Roots vacuum pump

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII POMPA ROOT`A – ZAKRES PRACY ULTRAWYSOKA PRÓŻNIA WYSOKA PRÓŻNIA ŚREDNIA PRÓŻNIA NISKA PRÓŻNIA 10 -14 10 -13 10 -12 10 -11 10 -10 10 -9 10 -8 10 -7 10 -6 10 -5 10 -4 10 -3 10 -2 10 -1 10 10 1 10 2 p [mbar]

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII POMPA ROOT`A POMPA ROOT`A BUDOWA

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII POMPA ROOT`A - BUDOWA WYLOT WLOT

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII POMPA ROOT`A - BUDOWA KORPUS POMPY WIRNIKI WYLOT WLOT

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII POMPA ROOT`A - BUDOWA KORPUS POMPY WIRNIKI WYLOT WLOT

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII POMPA ROOT`A - BUDOWA Pompy pracują bez oleju Obroty wirników (1000÷4000)obr/min Wzdłuż wszystkich linii styku występują stałe prześwity wynoszące (0.1÷0.2)mm MOŻLIWOŚĆ WYSTEPOWANIA DUŻEGO PRZEPŁYWU WSTECZNEGO

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII POMPA ROOT`A - BUDOWA Ze względu na duże przepływy wsteczne w pompie konieczność pracy w układzie pompowym

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII POMPA ROOT`A – UKŁADY POMPOWE POMPA ROOT`A KONDENSOR ZAWÓR MECHANICZNA POMPA PRÓŻNI WSTĘPNEJ

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII POMPA ROOT`A POMPA ROOT`A ZASADA DZIAŁANIA

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII POMPA ROOT`A ZASADA DZIAŁANIA FAZY PRACY POMPY ROOTA Faza zasysania Faza przetaczania Faza przepływu wstecznego Faza wydechu

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII POMPA ROOT`A ZASADA DZIAŁANIA Faza zasysania KOMORA ZASYSANIA WLOT WYLOT

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII POMPA ROOT`A ZASADA DZIAŁANIA Faza zasysania Komora wlotowa (zasysania) połączona jest z kanałem wlotowym i wypełnia się gazem przepływającym z opróżnianego zbiornika

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII POMPA ROOT`A ZASADA DZIAŁANIA 2. Faza przetaczania KOMORA ZASYSANIA WLOT WYLOT

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII POMPA ROOT`A ZASADA DZIAŁANIA 2. Faza przetaczania KOMORA ZASYSANIA WLOT WYLOT

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII POMPA ROOT`A ZASADA DZIAŁANIA 2. Faza przetaczania KOMORA PRZETACANIA WLOT WYLOT

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII POMPA ROOT`A ZASADA DZIAŁANIA 2. Faza przetaczania KOMORA PRZETACANIA WLOT WYLOT

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII POMPA ROOT`A ZASADA DZIAŁANIA 2. Faza przetaczania Pompowany gaz zostaje uwięziony w obszarze między wirnikiem a obudową pompy – statorem (w komorze przetaczania) i jest przetaczany do wylotu pompy

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII POMPA ROOT`A ZASADA DZIAŁANIA 3. Faza przepływu wstecznego KOMORA PRZETACANIA WLOT WYLOT

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII POMPA ROOT`A ZASADA DZIAŁANIA 3. Faza przepływu wstecznego KOMORA PRZETACANIA WLOT WYLOT

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII POMPA ROOT`A ZASADA DZIAŁANIA 3. Faza przepływu wstecznego KOMORA WYLOTOWA WLOT WYLOT

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII POMPA ROOT`A ZASADA DZIAŁANIA 3. Faza przepływu wstecznego Następuje połączenie komory przetaczania z kanałem wylotowym pompy. W tej fazie pracy występuje intensywny przepływ wsteczny gazu

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII POMPA ROOT`A ZASADA DZIAŁANIA 4. Faza wydechu KOMORA WYLOTOWA WLOT WYLOT

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII POMPA ROOT`A ZASADA DZIAŁANIA 3. Faza wydechu KOMORA WYLOTOWA WLOT WYLOT

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII POMPA ROOT`A ZASADA DZIAŁANIA 3. Faza wydechu Po wyrównaniu ciśnień następuje faza „wydechu”. Gaz zostaje wypchnięty do obszaru wylotowego

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII POMPA ROOT`A POMPA ROOT`A ROZWAŻANIA TEORETYCZNE

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII POMPA ROOT`A - ROZWAŻANIA TEORETYCZNE GEOMETRYCZNA SZYBKOŚĆ POMPOWANIA

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII POMPA ROOT`A - ROZWAŻANIA TEORETYCZNE SRg – geometryczna szybkość pompowania n – ilość obrotów wirników na jedn. czasu Vzas – maksymalna objętość komory zasysania

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII POMPA ROOT`A - ROZWAŻANIA TEORETYCZNE NATĘŻENIE PRZEPŁYWU GAZU PRZEZ POMPĘ ROOTA

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII POMPA ROOT`A - ROZWAŻANIA TEORETYCZNE I – natężenie przepływu gazu przez pompę p – ciśnienie gazu na wlocie pompy IW – natężenie przepływu wstecznego

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII POMPA ROOT`A - ROZWAŻANIA TEORETYCZNE I I=SRgpWe IW

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII POMPA ROOT`A - ROZWAŻANIA TEORETYCZNE NATĘŻENIE PRZEPŁYWU WSTECZNEGO

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII POMPA ROOT`A - ROZWAŻANIA TEORETYCZNE IW – natężenie przepływu wstecznego Iws – natężenie przepływu wst. przez szczeliny Iwm – nat. przep. wst. związana z obj. martwymi

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII POMPA ROOT`A - ROZWAŻANIA TEORETYCZNE Gs – całkowita przew. wszystkich szczelin pWy pWe IWs SZCZELINY

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII POMPA ROOT`A - ROZWAŻANIA TEORETYCZNE Vm – suma wszystkich objętości martwych pWy pWe IWm OBJĘTOŚCI MARTWE

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII POMPA ROOT`A - ROZWAŻANIA TEORETYCZNE Sm – prędkość przepływu wstecznego gazu pWy pWe IWm OBJĘTOŚCI MARTWE

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII POMPA ROOT`A - ROZWAŻANIA TEORETYCZNE pWe IW=IWs +IWm pWy OBJĘTOŚCI MARTWE SZCZELINY

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII POMPA ROOT`A - ROZWAŻANIA TEORETYCZNE pWe IW=IWs +IWm pWy OBJĘTOŚCI MARTWE SZCZELINY

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII POMPA ROOT`A - ROZWAŻANIA TEORETYCZNE Po „nieskończenie” długim czasie pompowania natężenie przepływu spada do zera a ciśnienie wejściowe osiąga wartość końcową

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII POMPA ROOT`A - ROZWAŻANIA TEORETYCZNE Wypadkowy przepływ gazu przez pompę spada do zera pWe = pn

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII POMPA ROOT`A - ROZWAŻANIA TEORETYCZNE

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII POMPA ROOT`A - ROZWAŻANIA TEORETYCZNE MAKSYMALNY STOPIEŃ KOMPRESJI POMPY

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII POMPA ROOT`A - ROZWAŻANIA TEORETYCZNE Maksymalny stopień kompresji pn pWy WE WY

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII POMPA ROOT`A - ROZWAŻANIA TEORETYCZNE

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII POMPA ROOT`A - ROZWAŻANIA TEORETYCZNE

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII POMPA ROOT`A - ROZWAŻANIA TEORETYCZNE Maksymalny stopień kompresji

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII POMPA ROOT`A - ROZWAŻANIA TEORETYCZNE Mniejsza obj. martwa Sm Wzrost KMAX Mniejsza przew. szczelin GS

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII POMPY PRÓŻNIOWE POMPA OBJĘTOŚCIOWA Z PIERŚCIENIEM WODNYM

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII POMPA OBJĘTOŚCIOWA Z PIERŚCIENIEM WODNYM Liquid ring vacuum pump

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII POMPA OBJĘTOŚCIOWA Z PIERŚCIENIEM WODNYM ZAKRES PRACY ULTRAWYSOKA PRÓŻNIA WYSOKA PRÓŻNIA ŚREDNIA PRÓŻNIA NISKA PRÓŻNIA 10 -14 10 -13 10 -12 10 -11 10 -10 10 -9 10 -8 10 -7 10 -6 10 -5 10 -4 10 -3 10 -2 10 -1 10 10 1 10 2 p [mbar]

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII POMPA Z PIERŚCIENIEM WODNYM POMPA Z PIERŚCIENIEM WODNYM BUDOWA

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII POMPA Z PIERŚCIENIEM WODNYM WLOT WYLOT WIRNIK OTWÓR WYLOTOWY OTWÓR WLOTOWY WODA 80% wnętrza pompy

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII POMPA Z PIERŚCIENIEM WODNYM WLOT WYLOT PIERŚCIEŃ WODNY Obroty wirnika n=1500 obr/min

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII POMPA Z PIERŚCIENIEM WODNYM WLOT WYLOT PIERŚCIEŃ WODNY „ZASYSANIE” GAZU

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII POMPA Z PIERŚCIENIEM WODNYM WLOT WYLOT PIERŚCIEŃ WODNY „ZASYSANIE” GAZU PRZETACZANIE GAZU

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII POMPA Z PIERŚCIENIEM WODNYM WLOT WYLOT PIERŚCIEŃ WODNY USUWANIE GAZU „ZASYSANIE” GAZU PRZETACZANIE GAZU

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII POMPA Z PIERŚCIENIEM WODNYM WIRNIK WAŁ NAPĘDOWY OBUDOWA KANAŁ WLOTOWY PIERŚCIEŃ WODNY GIĘTKI KANAŁ WYPŁYWOWY (POMPA SIEMENSA)

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII POMPA Z PIERŚCIENIEM WODNYM Zastosowanie: przemysł chemiczny, farmaceutyczny Szybkość pompowania: Ciśnienie końcowe:

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII POMPY MOLEKULARNE (TURBINOWE)

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII POMPY MOLEKULARNE (TURBINOWE) Turbine vacuum pump

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII POMPY MOLEKULARNE (TURBINOWE) – ZAKRES PRACY ULTRAWYSOKA PRÓŻNIA WYSOKA PRÓŻNIA ŚREDNIA PRÓŻNIA NISKA PRÓŻNIA 10 -14 10 -13 10 -12 10 -11 10 -10 10 -9 10 -8 10 -7 10 -6 10 -5 10 -4 10 -3 10 -2 10 -1 10 10 1 10 2 p [mbar]

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII POMPY MOLEKULARNE Idea pracy pompy molekularnej Nieruchoma powierzchnia CZĄSTECZKA GAZU

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII POMPY MOLEKULARNE Idea pracy pompy molekularnej CZĄSTECZKA GAZU wirująca powierzchnia

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII POMPY MOLEKULARNE Efekt pompowania WLOT WYLOT CZĄSTECZKA GAZU wirująca powierzchnia

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII POMPY MOLEKULARNE Idea pracy pompy molekularnej WLOT WYLOT „EFEKT POMPOWANIA” Na skutek zderzeń z wirnikiem cząsteczki gazu uzyskują składowe prędkości, przenoszące je od wlotu do wylotu pompy

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII POMPY MOLEKULARNE POMPY MOLEKULARNE BUDOWA

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII POMPY MOLEKULARNE – BUDOWA (TYP I) OBUDOWA POMPY WIRNIK POMPY

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII POMPY MOLEKULARNE - BUDOWA (TYP I) PWe PWy l h OBUDOWA POMPY WIRNIK POMPY

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII POMPY MOLEKULARNE POMPY MOLEKULARNE ZASADA DZIAŁANIA

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII POMPY MOLEKULARNE – ZASADA DZIAŁANIA (TYP I) WEJŚCIE POMPY WYJŚCIE POMPY

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII POMPY MOLEKULARNE – ZASADA DZIAŁANIA (TYP I) WEJŚCIE POMPY WYJŚCIE POMPY

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII POMPY MOLEKULARNE - ZASADA DZIAŁANIA (TYP I) WEJŚCIE POMPY WYJŚCIE POMPY

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII POMPY MOLEKULARNE - ZASADA DZIAŁANIA (TYP I) WEJŚCIE POMPY WYJŚCIE POMPY

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII POMPY MOLEKULARNE – BUDOWA (TYP II) OBUDOWA POMPY WIRNIK POMPY

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII POMPY MOLEKULARNE – BUDOWA (TYP II) PWy PWe 0.05mm OBUDOWA POMPY l h WIRNIK POMPY

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII POMPY MOLEKULARNE – ZASADA DZIAŁANIA (TYP II) WYJŚCIE POMPY WEJŚCIE POMPY

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII POMPY MOLEKULARNE – TEORIA η – lepkość gazu l – długość drogi cząstki gazu υ – prędkość obwodowa wirnika h – szerokość kanału pompy

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII POMPY MOLEKULARNE POMPY TURBO MOLEKULARNE

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII POMPY TURBOMOLEKULARNE Turbomolecular pump

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII POMPY TURBOMOLEKULARNE – ZAKRES PRACY ULTRAWYSOKA PRÓŻNIA WYSOKA PRÓŻNIA ŚREDNIA PRÓŻNIA NISKA PRÓŻNIA 10 -14 10 -13 10 -12 10 -11 10 -10 10 -9 10 -8 10 -7 10 -6 10 -5 10 -4 10 -3 10 -2 10 -1 10 10 1 10 2 p [mbar]

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII POMPY TURBOMOLEKULARNE - BUDOWA TURBINKA POMPY KORPUS POMPY SILNIK

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII POMPY TURBOMOLEKULARNE - BUDOWA 1 KOŁNIERZ WLOTOWY 2 STATOR 3 ODPOWIETRZNIK 4 PRÓŻNIA WSTĘPNA 5 OSŁONA 6 ROTOR 7 OBUDOWA POMPY 8 ŁOŻYSKA KULKOWE 9 CHŁODNICA 10 SILNIK TRÓJFAZOWY 11 ŁOŻYSKA KULKOWE

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII POMPY TURBOMOLEKULARNE - DZIAŁANIE TURBINKA POMPY KORPUS POMPY SILNIK

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII POMPY TURBOMOLEKULARNE - DZIAŁANIE WLOT TURBINKA POMPY KORPUS POMPY WYLOT SILNIK

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII POMPY MOLEKULARNE POMPY TURBO MOLEKULARNE TEORIA

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII POMPY TURBOMOLEKULARNE - BUDOWA WLOT ν1 KIERUNEK OBROTU WIRNIKA ν2 WYLOT ν1 – ilość cząstek gazu padających na wirującą tarczę od strony wlotu ν2 – ilość cząstek gazu padających na wirującą tarczę od strony wylotu

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII POMPY TURBOMOLEKULARNE - BUDOWA WLOT GAZU Na tarczę pada cząsteczka gazu KIERUNEK OBROTU WIRNIKA

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII POMPY TURBOMOLEKULARNE - BUDOWA Po odbiciu od łopatek wirnika część cząsteczek przejdzie do wylotu pompy WLOT GAZU KIERUNEK OBROTU WIRNIKA

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII POMPY TURBOMOLEKULARNE - BUDOWA WLOT GAZU Możliwość przejścia mają tylko cząsteczki padające na tarczę pod kątem δ1 δ1 KIERUNEK OBROTU WIRNIKA

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII POMPY TURBOMOLEKULARNE - BUDOWA WLOT GAZU δ2 KIERUNEK OBROTU WIRNIKA Cząsteczki padające pod kątem „δ2” nie przejdą na drugą stronę wirnika

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII POMPY TURBOMOLEKULARNE - BUDOWA Po drugiej stronie wirnika cząsteczki znajdą się w obszarze określonym przez kąt δ3 WLOT GAZU δ1 KIERUNEK OBROTU WIRNIKA δ3

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII POMPY TURBOMOLEKULARNE - BUDOWA Prawdopodobieństwo przejścia cząsteczek od wlotu do wylotu pompy WLOT GAZU δ1 PRZYKŁAD δ3

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII POMPY TURBOMOLEKULARNE - BUDOWA Na tarczę pada cząsteczka gazu KIERUNEK OBROTU WIRNIKA WYLOT GAZU

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII POMPY TURBOMOLEKULARNE - BUDOWA Część cząsteczek gazu po odbiciu od łopatek wirnika przejdzie do wlotu pompy KIERUNEK OBROTU WIRNIKA WYLOT GAZU

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII POMPY TURBOMOLEKULARNE - BUDOWA Możliwość przejścia mają cząsteczki padające na tarczę z obszaru określonego kątem γ1 KIERUNEK OBROTU WIRNIKA WYLOT GAZU γ1

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII POMPY TURBOMOLEKULARNE - BUDOWA Po drugiej stronie wirnika cząsteczki znajdą się w obszarze określonym przez kąt γ3 γ3 KIERUNEK OBROTU WIRNIKA WYLOT GAZU γ1

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII POMPY TURBOMOLEKULARNE - BUDOWA Prawdopodobieństwo przejścia cząsteczek od wylotu do wlotu pompy γ3 KIERUNEK OBROTU WIRNIKA WYLOT GAZU PRZYKŁAD γ1

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII POMPY TURBOMOLEKULARNE - BUDOWA Porównanie prawdopodobieństwa przejścia cząsteczek od wlotu do wylotu pompy i od wylotu do wlotu pompy WLOT GAZU WYLOT GAZU

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII POMPY TURBOMOLEKULARNE - BUDOWA Ilość cząsteczek przechodzących od wlotu do wylotu pompy (pompowanie gazu) K1 – prawdopodobieństwo przejścia cząsteczki od wlotu do wylotu pompy ν1 – ilość cząstek gazu padających na wirującą tarczę od strony wlotu

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII POMPY TURBOMOLEKULARNE - BUDOWA Ilość cząsteczek przechodzących od wylotu do wlotu pompy (przepływ wsteczny gazu) K2 – prawdopodobieństwo przejścia cząsteczki od wlotu do wylotu pompy ν2 – ilość cząstek gazu padających na wirującą tarczę od strony wylotu

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII POMPY TURBOMOLEKULARNE - BUDOWA Wypadkowa ilość cząsteczek przechodzących od wlotu do wylotu pompy (efektywne pompowanie gazu) pompowanie przepływ wsteczny

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII POMPY TURBOMOLEKULARNE - BUDOWA Wypadkowa ilość cząsteczek przechodzących od wlotu do wylotu pompy (efektywne pompowanie gazu) pompowanie przepływ wsteczny

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII POMPY TURBOMOLEKULARNE - BUDOWA Wypadkowa ilość cząsteczek przechodzących od wlotu do wylotu pompy (efektywne pompowanie gazu) Współczynnik pompowania pompowanie przepływ wsteczny

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII POMPY TURBOMOLEKULARNE STOPIEŃ KOMPRESJI DEFINICJA

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII STOPIEŃ KOMPRESJI - DEFINICJA POMPA KOMORA PRÓŻNIOWA ATMOSFERA pWe pWy

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII STOPIEŃ KOMPRESJI DEFINICJA Po „nieskończenie” długim czasie pompowania pWe=p(nieskończoność) POMPA KOMORA PRÓŻNIOWA ATMOSFERA p pWy 8

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII POMPY TURBOMOLEKULARNE - STOPIEŃ KOMPRESJI STOPIEŃ KOMPRESJI „SK” WLOT pWe pWy WYLOT

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII POMPY TURBOMOLEKULARNE - STOPIEŃ KOMPRESJI STOPIEŃ KOMPRESJI „SK” WLOT ν1 pWe ν2 pWy WYLOT

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII POMPY TURBOMOLEKULARNE - STOPIEŃ KOMPRESJI STOPIEŃ KOMPRESJI „SK” WLOT ν1 pWe ν2 pWy WYLOT

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII POMPY TURBOMOLEKULARNE STOPIEŃ KOMPRESJI OBLICZENIA

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII POMPY TURBOMOLEKULARNE - STOPIEŃ KOMPRESJI OBLICZENIA

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII POMPY TURBOMOLEKULARNE - STOPIEŃ KOMPRESJI OBLICZENIA

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII POMPY TURBOMOLEKULARNE - STOPIEŃ KOMPRESJI OBLICZENIA Ogólny wzór na stopień kompresji

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII POMPY TURBOMOLEKULARNE - STOPIEŃ KOMPRESJI OBLICZENIA Maksymalny, możliwy do uzyskania stopień kompresji „SKMAX” Po „nieskończenie długim” czasie pompowania: Współczynnik pompowania

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII POMPY TURBOMOLEKULARNE - STOPIEŃ KOMPRESJI OBLICZENIA Maksymalny stopień kompresji „SKMAX”

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII POMPY TURBOMOLEKULARNE - STOPIEŃ KOMPRESJI OBLICZENIA Maksymalny stopień kompresji „SKMAX”

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII POMPY TURBOMOLEKULARNE OBLICZANIE WARTOŚCI WSPÓŁCZYNNIKA POMPOWANIA „KP”

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII POMPY TURBOMOLEKULARNE – WSPÓŁCZYNNIK POMPOWANIA „Kp” W momencie rozpoczęcia pompowania pWe pWy ν1 ν2 WYLOT WLOT

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII POMPY TURBOMOLEKULARNE – WSPÓŁCZYNNIK POMPOWANIA „Kp” Współczynnik pompowania pompowanie przepływ wsteczny

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII POMPY TURBOMOLEKULARNE – WSPÓŁCZYNNIK POMPOWANIA „Kp” Współczynnik pompowania pompowanie przepływ wsteczny

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII POMPY TURBOMOLEKULARNE – WSPÓŁCZYNNIK POMPOWANIA „Kp” Współczynnik pompowania Kp w początkowej fazie pompowania

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII POMPY STRUMIENIOWE

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII POMPY STRUMIENIOWE WODNE

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII POMPY STRUMIENIOWE Strumieniowe pompy wodne - budowa Wlot wody TYP 1 Szkło (metal) Wlot gazu Dysza Wylot wody i gazu

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII POMPY STRUMIENIOWE Strumieniowe pompy wodne - działanie Wlot wody TYP 1 Dysza formuje strumień wody składający się z cząsteczek wody poruszających się z dużymi prędkościami Wlot gazu Wylot wody

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII POMPY STRUMIENIOWE Strumieniowe pompy wodne - działanie Wlot wody TYP 1 Uformowany w dyszy strumień wody „zasysa” gaz wywołując efekt pompowania Wlot gazu Wylot wody i gazu

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII POMPY STRUMIENIOWE Strumieniowe pompy wodne - działanie Wlot gazu TYP 2 Uformowany w dyszy strumień wody „zasysa” gaz wywołując efekt pompowania Wlot wody Wylot wody i gazu

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII POMPY STRUMIENIOWE EJEKTOROWE

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII POMPY STRUMIENIOWE EJEKTOROWE Ejektor vacuum pump

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII POMPY STRUMIENIOWE EJEKTOROWE - ZAKRES PRACY ULTRAWYSOKA PRÓŻNIA WYSOKA PRÓŻNIA ŚREDNIA PRÓŻNIA NISKA PRÓŻNIA 10 -14 10 -13 10 -12 10 -11 10 -10 10 -9 10 -8 10 -7 10 -6 10 -5 10 -4 10 -3 10 -2 10 -1 10 10 1 10 2 p [mbar]

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII POMPY STRUMIENIOWE EJEKTOROWE Wlot pary dysza komora zasysania Wlot gazu dyfuzor wylot pompy

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII POMPY STRUMIENIOWE EJEKTOROWE Wysokoenergetyczny strumień par DYSZA Przyczyną przenikania cząsteczek gazu w głąb strumienia pary jest zjawisko „porywania” i dyfuzji

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII POMPY STRUMIENIOWE EJEKTOROWE - DYFUZJA STRUMIEŃ PAR GAZ Strumień J dyfundujących cząsteczek gazu jest wprost proporcjonalny do gradientu koncentracji dn/dx a współczynnikiem proporcjonalności jest „współczynnik dyfuzji” D Koncentracja cząsteczek pary, gazu Odległość x

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII POMPY STRUMIENIOWE EJEKTOROWE - DYFUZJA STRUMIEŃ PAR GAZ Strumień J dyfundujących cząsteczek gazu jest wprost proporcjonalny do gradientu koncentracji dn/dx a współczynnikiem proporcjonalności jest „współczynnik dyfuzji” D dn/dx Koncentracja cząsteczek pary, gazu J Odległość x

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII POMPY STRUMIENIOWE EJEKTOROWE 150 120 Szybkość pompowania S[l/h] 90 60 30 10 20 40 50 100 Ciśnienie na wlocie pompy p [kPa]

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII DYFUZYJNA POMPA OLEJOWA

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII DYFUZYJNA POMPA OLEJOWA Diffusion pump

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII DYFUZYJNA POMPA OLEJOWA – ZAKRES PRACY ULTRAWYSOKA PRÓŻNIA WYSOKA PRÓŻNIA ŚREDNIA PRÓŻNIA NISKA PRÓŻNIA 10 -14 10 -13 10 -12 10 -11 10 -10 10 -9 10 -8 10 -7 10 -6 10 -5 10 -4 10 -3 10 -2 10 -1 10 10 1 10 2 p [mbar]

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII DYFUZYJNA POMPA OLEJOWA „KAPTUREK” WLOT KORPUS POMPY WLOT WODY PROWADNICA PAR CHŁODNICA OLEJ WYLOT WODY BLOKADA WYLOT GRZAŁKA 230V

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII DYFUZYJNA POMPA OLEJOWA BUDOWA

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII DYFUZYJNA POMPA OLEJOWA - BUDOWA 1. Korpus pompy KORPUS POMPY WLOT WYLOT

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII DYFUZYJNA POMPA OLEJOWA - BUDOWA 2.Grzałka KORPUS POMPY WLOT BLOKADA WYLOT GRZAŁKA 230V

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII DYFUZYJNA POMPA OLEJOWA - BUDOWA 3.Chłodnica KORPUS POMPY WLOT WLOT WODY CHŁODNICA WYLOT WODY BLOKADA WYLOT GRZAŁKA 230V

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII DYFUZYJNA POMPA OLEJOWA - BUDOWA 4. Prowadnica par „KAPTUREK” KORPUS POMPY WLOT WLOT WODY PROWADNICA PAR CHŁODNICA WYLOT WODY BLOKADA WYLOT GRZAŁKA 230V

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII DYFUZYJNA POMPA OLEJOWA - BUDOWA 4. Czynnik pompujący „KAPTUREK” WLOT KORPUS POMPY WLOT WODY PROWADNICA PAR CHŁODNICA OLEJ WYLOT WODY BLOKADA WYLOT GRZAŁKA 230V

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII DYFUZYJNA POMPA OLEJOWA - BUDOWA „KAPTUREK” WLOT KORPUS POMPY WLOT WODY PROWADNICA PAR CHŁODNICA OLEJ WYLOT WODY BLOKADA WYLOT GRZAŁKA 230V

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII DYFUZYJNA POMPA OLEJOWA - BUDOWA

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII DYFUZYJNA POMPA OLEJOWA ZASADA DZIAŁANIA

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII DYFUZYJNA POMPA OLEJOWA – ZASADA DZIAŁANIA ZBIORNIK OPRÓŻNIANY B WYLOT GRZAŁKA 230V

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII DYFUZYJNA POMPA OLEJOWA – ZASADA DZIAŁANIA 1. Włączenie wody chłodzącej korpus pompy H2O H2O B WYLOT GRZAŁKA 230V

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII DYFUZYJNA POMPA OLEJOWA – ZASADA DZIAŁANIA 2. Włączenie zasilania grzejnika H2O H2O B WYLOT GRZAŁKA 230V

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII DYFUZYJNA POMPA OLEJOWA – ZASADA DZIAŁANIA 3. Ogrzewanie „czynnika pompującego” (oleju) H2O H2O B WYLOT GRZAŁKA 230V

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII DYFUZYJNA POMPA OLEJOWA – ZASADA DZIAŁANIA 4. Formowanie wysokoenergetycznego strumienia par w prowadnicy H2O H2O B WYLOT GRZAŁKA 230V

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII DYFUZYJNA POMPA OLEJOWA – ZASADA DZIAŁANI A 5. Formowanie przesłony pompującej H2O H2O B WYLOT GRZAŁKA 230V

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII DYFUZYJNA POMPA OLEJOWA – ZASADA DZIAŁANI A Formowanie przesłony pompującej – widok z góry PRZESŁONA POMPUJĄCA KAPTUREK WODA CHŁODZĄCA KORPUS POMPY OBUDOWA CHŁODNICY

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII DYFUZYJNA POMPA OLEJOWA – ZASADA DZIAŁANI A 6. Pompowanie gazu „na przesłonie pompującej” H2O H2O B WYLOT GRZAŁKA 230V

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII DYFUZYJNA POMPA OLEJOWA – ZASADA DZIAŁANI A 7. Skraplanie „czynnika pompującego” (oleju) na ściankach pompy WYLOT GRZAŁKA 230V B H2O

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII DYFUZYJNA POMPA OLEJOWA – ZASADA DZIAŁANI A 8. Powrót „czynnika pompującego” (oleju) do zbiornika H2O H2O B WYLOT GRZAŁKA 230V

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII DYFUZYJNA POMPA OLEJOWA MECHANIZM POMPOWANIA

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII DYFUZYJNA POMPA OLEJOWA - MECHANIZM POMPOWANIA Pompowanie zachodzi na skutek: DYFUZJI PORYWANIA KONDENSACJI

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII DYFUZYJNA POMPA OLEJOWA - MECHANIZM POMPOWANIA Pompowanie zachodzi na skutek  DYFUZJI wlot gazu ciśnienie parcjalne gazu w strumieniu czynnika pompującego jest bardzo małe (w strumieniu par zawartość cząsteczek gazu składających się na powietrze jest znikoma)

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII DYFUZYJNA POMPA OLEJOWA - MECHANIZM POMPOWANIA Pompowanie zachodzi na skutek  DYFUZJI Przesłona pompująca

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII DYFUZYJNA POMPA OLEJOWA - MECHANIZM POMPOWANIA Pompowanie zachodzi na skutek  DYFUZJI

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII DYFUZYJNA POMPA OLEJOWA - MECHANIZM POMPOWANIA Pompowanie zachodzi na skutek  PORYWANIA wlot gazu Cząsteczki gazu zderzając się z wysokoenergetycznymi cząsteczkami pary uzyskują składowe prędkości przemieszczające je od wlotu do wylotu pompy

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII DYFUZYJNA POMPA OLEJOWA - MECHANIZM POMPOWANIA Pompow. zachodzi na skutek  KONDENSACJI wlot gazu Cząsteczki gazu (pary wodnej) stykając się z ochłodzonymi ściankami pompy kondensują na wewnętrznej powierzchni pompy i usuwane są do zbiornika z czynnikiem pomp.

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII DYFUZYJNA POMPA OLEJOWA – TRÓJSTOPNIOWA 1 GRZEJNIK 2 CZYNNIK POMPUJĄCY (OLEJ LUB RTĘĆ) 3 KORPUS POMPY 4 WĘŻOWNICA CHŁODZĄCA 5 KOŁNIERZ 6 CZĄSTECZKI GAZU – WLOT 7 STRUMIEŃ PARY 8 WYLOT A,B,C,D – DYSZE PROWADNICY PAR

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII DYFUZYJNA POMPA OLEJOWA ZAKŁÓCENIA W PRZEBIEGU POMPOWANIA

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII DYFUZYJNA POMPA OLEJOWA - MECHANIZM POMPOWANIA Zakłócenia w przebiegu pompowania: DYFUZJA WSTECZNA STRUMIEŃ WSTECZNY ROZPUSZCZANIE GAZU

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII DYFUZYJNA POMPA OLEJOWA - MECHANIZM POMPOWANIA DYFUZJA WSTECZNA CZĄSTECZK I DYFUNDUJĄCE W TYM OBSZARZE MOGĄ PRZEDOSTAĆ SIĘ DO WLOTU CZĄSTECZKI DYFUNDUJĄCE W TYM OBSZARZE PRZESŁONY BĘDĄ ODRZUCONE

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII DYFUZYJNA POMPA OLEJOWA - MECHANIZM POMPOWANIA STRUMIEŃ WSTECZNY Nieszczelność w miejscu zamocowania kapturka

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII DYFUZYJNA POMPA OLEJOWA - MECHANIZM POMPOWANIA STRUMIEŃ WSTECZNY 1 Nieszczelność w miejscu zamocowania kapturka Z krawędzi kapturka kapturka, które zwilżone są zawsze kondensującymi się parami czynnika pompującego

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII DYFUZYJNA POMPA OLEJOWA - MECHANIZM POMPOWANIA STRUMIEŃ WSTECZNY 1 Nieszczelność w miejscu zamocowania kapturka Z krawędzi kapturka kapturka, które zwilżone są zawsze kondensującymi się parami czynnika pompującego 2 Ze strumienia par czynnika pompującego w wyniku niekorzystnych zderzeń między cząsteczkami

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII DYFUZYJNA POMPA OLEJOWA - MECHANIZM POMPOWANIA STRUMIEŃ WSTECZNY 1 Nieszczelność w miejscu zamocowania kapturka Z krawędzi kapturka kapturka, które zwilżone są zawsze kondensującymi się parami czynnika pompującego 2 Ze strumienia par czynnika pompującego w wyniku niekorzystnych zderzeń między cząsteczkami 3 Z części parnika znajdującego się na zewnątrz zespołu prowadnic

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII DYFUZYJNA POMPA OLEJOWA - MECHANIZM POMPOWANIA STRUMIEŃ WSTECZNY 1 Nieszczelność w miejscu zamocowania kapturka Z krawędzi kapturka kapturka, które zwilżone są zawsze kondensującymi się parami czynnika pompującego 2 Ze strumienia par czynnika pompującego w wyniku niekorzystnych zderzeń między cząsteczkami 3 Z części parnika znajdującego się na zewnątrz zespołu prowadnic 4 Ze ścianek kondensora w wyniku ponownego odparowania kondensatu

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII DYFUZYJNA POMPA OLEJOWA - MECHANIZM POMPOWANIA STRUMIEŃ WSTECZNY 1 Nieszczelność w miejscu zamocowania kapturka Z krawędzi kapturka kapturka, które zwilżone są zawsze kondensującymi się parami czynnika pompującego 2 Ze strumienia par czynnika pompującego w wyniku niekorzystnych zderzeń między cząsteczkami 3 Z części parnika znajdującego się na zewnątrz zespołu prowadnic 4 Ze ścianek kondensora w wyniku ponownego odparowania kondensatu 5

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII DYFUZYJNA POMPA OLEJOWA - MECHANIZM POMPOWANIA ROZPUSZCZANIE GAZU Gaz częściowo rozpuszcza się w kondensującym na ściankach pompy czynniku pompującym, co powoduje, że może ponownie uwolnić się przy formowaniu w dyszy przesłony pompującej

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII DYFUZYJNA POMPA OLEJOWA ELIMINACJA STRUMIENIA WSTECZNEGO GAZU ODRZUTNIKI PAR OLEJU

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII DYFUZYJNA POMPA OLEJOWA - ODRZUTNIKI PAR Strumień wsteczny gazu, strumień cząstek czynnika pompującego (oleju lub rtęci) przedostający się do komory próżniowej – obszaru opróżnianego

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII DYFUZYJNA POMPA OLEJOWA - ODRZUTNIKI PAR ODRZUTNIK PAR OLEJU LN2 LN2 Liquid N2 Zasada pracy odrzutnika polega na wychwytywaniu cząstek gazu na ochłodzonych powierzchniach

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII DYFUZYJNA POMPA OLEJOWA POMPY DYFUZYJNE ROZWAŻANIA TEORETYCZNE

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII POMPY DYFUZYJNE - ROZWAŻANIA TEORETYCZNE D d WLOT

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII POMPY DYFUZYJNE - ROZWAŻANIA TEORETYCZNE Objętość gazu V* przechodząca przez jednostkową powierzchnię w jednostce czasu va – prędkość średnia arytmetyczna cząsteczek

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII POMPY DYFUZYJNE - ROZWAŻANIA TEORETYCZNE Objętość gazu V* przechodząca przez jednostkową powierzchnię w jednostce czasu

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII POMPY DYFUZYJNE - ROZWAŻANIA TEORETYCZNE S0 – prędkość pompowania idealnego otworu A – powierzchnia idealnego otworu

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII POMPY DYFUZYJNE - ROZWAŻANIA TEORETYCZNE A – pole powierzchni „idealnego otworu” D d IDEALNY OTWÓR POMPUJĄCY

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII POMPY DYFUZYJNE - ROZWAŻANIA TEORETYCZNE SD – rzeczywista prędkość pompowania przesłony PRZESŁONA POMPUJĄCA „IDEALNY OTWÓR” SD S0

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII POMPY DYFUZYJNE - ROZWAŻANIA TEORETYCZNE współczynnik pompowania H prawdopodobieństwo odpompowania cząsteczki gazu padającego na powierzchnię przesłony pompującej najniższe ciśnienie parcjalne pm pompowanego gazu w strumieniu czynnika pompującego Ciśnienie p na wlocie pompy

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII POMPY DYFUZYJNE - ROZWAŻANIA TEORETYCZNE p pm

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII POMPY DYFUZYJNE - ROZWAŻANIA TEORETYCZNE

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII POMPY DYFUZYJNE - ROZWAŻANIA TEORETYCZNE Po „nieskończenie” długim czasie pompowania osiągana jest próżnia końcowa: Ciśnienie na wlocie pompy osiąga minimalną możliwą do uzyskania wartość Szybkość pompowana spada praktycznie do zera

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII POMPY DYFUZYJNE - ROZWAŻANIA TEORETYCZNE

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII POMPY DYFUZYJNE - ROZWAŻANIA TEORETYCZNE

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII POMPY DYFUZYJNE - ROZWAŻANIA TEORETYCZNE

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII POMPY DYFUZYJNE - ROZWAŻANIA TEORETYCZNE

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII POMPY DYFUZYJNE - ROZWAŻANIA TEORETYCZNE Ponieważ wartość współczynnika H=(0.3÷04) ciśnienie końcowe p będzie zawsze większe od minimalnego ciśnienia pm w czynniku pompującym PRZYKŁAD:

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII POMPY DYFUZYJNE - ROZWAŻANIA TEORETYCZNE OBLICZENIE MAKSYMALNEJ SZYBKOŚCI POMPOWANIA SDMAX W POCZĄTKOWEJ FAZIE POMPOWANIA

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII POMPY DYFUZYJNE - ROZWAŻANIA TEORETYCZNE Rozpoczynając proces pompowania: p pm

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII POMPY DYFUZYJNE - ROZWAŻANIA TEORETYCZNE

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII POMPY DYFUZYJNE - ROZWAŻANIA TEORETYCZNE

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII POMPY DYFUZYJNE - ROZWAŻANIA TEORETYCZNE D d

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII POMPY DYFUZYJNE - ROZWAŻANIA TEORETYCZNE UPROSZCZONA ZALEŻNOŚĆ NA SZYBKOŚĆ POMPOWANIA SDMAX POWIETRZA W POCZĄTKOWEJ FAZIE POMPOWANIA

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII POMPY DYFUZYJNE - ROZWAŻANIA TEORETYCZNE D d Gaz pompowany - powietrze Temperatura gazu - T=20°C Pompa olejowa - H=0.4 Wymiary geometryczne - d/D=2/3

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII POMPY DYFUZYJNE - ROZWAŻANIA TEORETYCZNE Szacowanie szybkości pompowania pompy w oparciu o średnicę „gardła pompy”

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII POMPY DYFUZYJNE - ROZWAŻANIA TEORETYCZNE Szacowanie szybkości pompowania pompy w oparciu o średnicę „gardła pompy” D=0.5m

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII POMPY DYFUZYJNE CHARAKTERYSTYKI

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII POMPY DYFUZYJNE – CHARAKTERYSTYKI Zależność szybkości pompowania „S” od ciśnienia na wlocie pompy „p” 10 -6 -5 -4 -3 -2 -1 1 3 5 S[l/s] Ciśnienie na wlocie pompy p [mbar] Szybkość pompowania -7

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII POMPY DYFUZYJNE – CHARAKTERYSTYKI Zależność szybkości pompowania „S” od ciśnienia na wlocie pompy „p” S[l/s] Typowy obszar pracy 10 5 Niedozwolony obszar pracy pompy 10 3 Szybkość pompowania 10 1 10 -1 10 -7 10 -6 10 -5 10 -4 10 -3 10 -2 10 -1 10 10 1 Ciśnienie na wlocie pompy p [mbar]

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII POMPY DYFUZYJNE – CHARAKTERYSTYKI Zależność szybkości pompowania „S” od ciśnienia na wlocie pompy „p” Niedozwolony obszar pracy pompy Koniec możliwości pracy pompy S[l/s] Typowy obszar pracy 10 5 10 3 Szybkość pompowania 10 1 10 -1 10 -9 10 -8 10 -7 10 -6 10 -5 10 -4 10 -3 10 -2 10 -1 p Ciśnienie na wlocie pompy p [mbar]

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII POMPY DYFUZYJNE – CHARAKTERYSTYKI Zależność szybkości pompowania „S” od mocy „W” zasilania grzejnika S[l/s] 10 5 10 3 Szybkość pompowania 10 1 10 -1 Moc zasilania grzejnika [W] WPROGOWE WOPTYM.

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII POMPY DYFUZYJNE – CHARAKTERYSTYKI Zależność szybkości pompowania „S” od mocy „W” zasilania grzejnika Tworzy się ciągła przesłona Zbyt duży strumień wsteczny S[l/s] 10 5 10 3 Szybkość pompowania 10 1 10 -1 Moc zasilania grzejnika [W] WPROGOWE WOPTYM.

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII POMPY DYFUZYJNE – CHARAKTERYSTYKI Zależność szybkości pompowania „S” od ciśnienia gazu na wlocie pompy „p” przy różnych mocach „W” zasilania grzejnika S[l/s] WOPT Szybkość pompowania 10 -9 10 -8 10 -7 10 -6 10 -5 10 -4 10 -3 10 -2 10 -1 p Ciśnienie na wlocie pompy p [mbar]

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII POMPY DYFUZYJNE – CHARAKTERYSTYKI Zależność szybkości pompowania „S” od ciśnienia gazu na wlocie pompy „p” przy różnych mocach „W” zasilania grzejnika „mocniejsza” przesłona pozwala na rozpoczęcie pompowania przy wyższych ciśnieniach S[l/s] WOPT W1 Szybkość pompowania W1>WOPT 10 -9 10 -8 10 -7 10 -6 10 -5 10 -4 10 -3 10 -2 10 -1 p Ciśnienie na wlocie pompy p [mbar]

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII POMPY DYFUZYJNE – CHARAKTERYSTYKI Zależność szybkości pompowania „S” od ciśnienia gazu na wlocie pompy „p” przy różnych mocach „W” zasilania grzejnika „mocniejsza” przesłona pozwala na rozpoczęcie pompowania przy wyższych ciśnieniach S[l/s] WOPT W1 Szybkość pompowania W2 W2>W1>WOPT 10 -9 10 -8 10 -7 10 -6 10 -5 10 -4 10 -3 10 -2 10 -1 p Ciśnienie na wlocie pompy p [mbar]

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII POMPY DYFUZYJNE – CHARAKTERYSTYKI Zależność szybkości pompowania „S” od mocy „W” zasilania grzejnika dla różnych gazów Lekkie gazy są słabo pompowane – konieczna jest „silna” przesłona 3 S[m /s] 0.20 HEL 0.15 Szybkość pompowania WODÓR POWIETRZE 0.10 100 200 300 400 500 600 700 800 W [W] Moc zasilania grzejnika

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII UKŁADY POMPOWE

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII UKŁADY POMPOWE CIŚNIENIE ATMOSFERYCZNE 10 -6 -5 -4 -3 -2 -1 1 3 5 S[l/s] Ciśnienie na wlocie pompy p [mbar] Szybkość pompowania -7 POMPA DYFUZYJNA

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII UKŁADY POMPOWE CIŚNIENIE ATMOSFERYCZNE 10 -6 -5 -4 -3 -2 -1 1 3 5 S[l/s] Ciśnienie na wlocie pompy p [mbar] Szybkość pompowania -7 POMPA DYFUZYJNA POMPA ROTACYJNA

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII UKŁADY POMPOWE CIŚNIENIE ATMOSFERYCZNE WYSOKA PRÓŻNIA 10 -6 -5 -4 -3 -2 -1 1 3 5 S[l/s] Ciśnienie na wlocie pompy p [mbar] Szybkość pompowania -7 POMPA DYFUZYJNA POMPA ROTACYJNA

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII UKŁADY POMPOWE KOMORA PRÓŻNIOWA Z5 Z2 Z4 Z1 Z3 PD PO ZPW

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII CYKL POMPOWANIA UKŁADU POMPOWEGO

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII PRACA STANOWISKA

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII CYKL POMPOWANIA UKŁADU POMPOWEGO Uruchomienie objętościowej pompy próżni wstępnej Otwarcie zaworów Z4 i Z3 Odpompowanie wnętrza pompy dyfuzyjnej i zbiornika próżni wstępnej

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII UKŁADY POMPOWE KOMORA PRÓŻNIOWA Z5 Z2 Z4 Z1 Z3 PD PO ZPW

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII CYKL POMPOWANIA UKŁADU POMPOWEGO 4. Otwarcie przepływu wody chłodzącej pompę dyfuzyjną 5. Włączenie zasilania grzejnika pompy 6. Pompa dyfuzyjna zaczyna pracować „na siebie”

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII UKŁADY POMPOWE KOMORA PRÓŻNIOWA Z5 Z2 Z4 Z1 Z3 PD PO ZPW

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII CYKL POMPOWANIA UKŁADU POMPOWEGO Zamknięcie zaworu Z3 Otwarcie zaworu Z2 w celu odpompowania zbiornika opróżnianego do poziomu próżni wstępnej

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII UKŁADY POMPOWE KOMORA PRÓŻNIOWA Z5 Z2 Z4 Z1 Z3 PD PO ZPW

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII CYKL POMPOWANIA UKŁADU POMPOWEGO Zamknięcie zaworu Z2 Otwarcie zaworu Z3 i Z1 w celu odpompowania zbiornika opróżnianego do poziomu próżni wysokiej (normalny stan pracy układu pompowego)

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII UKŁADY POMPOWE KOMORA PRÓŻNIOWA Z5 Z2 Z4 Z1 Z3 PD PO ZPW

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII „ZAPOWIETRZANIE”

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII UKŁADY POMPOWE KOMORA PRÓŻNIOWA Z5 Z2 Z4 Z1 Z3 PD PO ZPW

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII UKŁADY POMPOWE Podnoszenie klosza ATMOSFERA Z5 Z2 Z4 Z1 Z3 PD PO ZPW

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII WYŁĄCZANIE STANOWISKA

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII CYKL POMPOWANIA UKŁADU POMPOWEGO 9. Zamknięcie zaworu Z1 10. Wyłączenie zasilania grzejnika pompy 11. Po ostudzeniu pompy – zamknięcie przepływu wody chłodzącej 12. Wyłączenie zasilania pompy obrotowej

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII UKŁADY POMPOWE KOMORA PRÓŻNIOWA Z5 Z2 Z4 Z1 Z3 PD PO ZPW