opracowanie technik mikrofabrykacji wielowarstwowych układów mikroprzepływowych Piotr Garstecki, Adam Samborski Grupa Badawcza Mikroprzepływów i Płynów Złożonych Instytut Chemii Fizycznej PAN Kwantowe Nanostruktury Półprzewodnikowe do Zastosowań w Biologii i Medycynie sesja sprawozdawcza 04/2009 Instytut Chemii Fizycznej PAN, Warszawa, 7/4/2009
mikro obróbka skrawaniem technologia mikrofabrykacji miękka litografia mikro obróbka skrawaniem 5 mm
litografia
Litografia -- projekt
Litografia - maski
Litografia - matryce
Litografia - stemple
Litografia - bonding
Litografia – gotowy układ
układy frezowane -- projekt
układy frezowane -- frezowanie
układy frezowane -- zgrzewanie
układy frezowane – gotowy układ
układy frezowane – gotowy układ
układy frezowane – gotowy układ
jesteśmy gotowy do integrowania sensorów z układami wykonanymi technikami litograficznymi mikro obróbki skrawaniem 5 mm