Pobierz prezentację
Pobieranie prezentacji. Proszę czekać
OpublikowałMalwina Michałkiewicz Został zmieniony 9 lat temu
1
Higiena próżniowa Marcin Podstawski 6.12.2007
2
Wprowadzenie Głównym celem tworzenia próżni jest pozbycie się, a przynajmniej ograniczenie obecności cząsteczek gazów i par w instalacji Proces czyszczenia ma na celu zredukowanie do akceptowalnego poziomu zjawiska desorpcji gazów z powierzchni lub wnętrza materiału z którego zbudowano instalację Przy p < 10 -7 mbar głównym obciążeniem pompy są te gazy Źródłami takich gazów mogą być zabrudzenia: smary, oleje (osadzone podczas produkcji) farby, atrament, rdza, odciski palców, para wodna (powolna desorpcja, przedmuchiwanie N 2 ) tlenki.
3
Projektowanie Instalacja powinna być łatwa do rozkręcenia i czyszczenia modułów osobno Należy unikać ślepych przestrzeni, szczelin, wadliwych spawów wirtualne przecieki i zatrzymanie środka czyszczącego Możliwie najmniejsza powierzchnia wystawiona na próżnie
4
Materiały Należy unikać materiałów porowatych desorpcja gazów absorpcja płynów czyszczących Stosować jeden rodzaj materiału różne ciśnienia par (UHV) desorpcja jednego materiału na drugi pod wpływem środka czyszczącego
5
Czyszczenie nie może powodować zniszczenia powierzchni oraz pozostawiać depozytów Wybór procedury zależy od: procesu i ciśnienia pracy stanu czyszczonych materiałów rozmiaru, kształtu i wagi podzespołów poręczności aparatury bezpieczeństwa pracy ekonomii Wybór procedur
6
Metody Czyszczenie mechaniczne Czyszczenie strumieniowe Moczenie Wytrawianie Sputtering Pasywacja Płukanie Polerowanie Maskowanie Wygrzewanie Suszenie
7
Przedmuchiwanie mokrym szkłem (gorący pył szklany w strumieniu wodnym) usuwanie farb, tlenków i innych powłok matowi powierzchnię Przedmuchiwanie suchym proszkiem np. Al 2 O 3 wymaga przepłukana wodą Czyszczenie strumieniowe
8
Rzadko stosowane powoduje zrycie powierzchni powoduje zmianę wymiarów Wymaga kolejnych procedur polerowanie odtłuszczanie przemywanie Wytrawianie
9
Sputtering rozpylanie jonowe rozpylanie katodowe napylanie katodowe Technika próżniowego osadzania półprzewodniki, płyty CD, przyrządy optyczne Technika czyszczenia fizyczne usuwanie zanieczyszczeń zwykle używany Ar + Sputtering
10
Mechaniczne rzadko stosowane w UHV pozostawia medium czyszczące na powierzchni Elektrochemiczne pozwala uzyskać doskonałe własności antykorozyjne, ułatwia i podnosi skuteczność mycia oraz pomaga utrzymać w czystości przedmioty poddane polerowaniu miejsca niedostępne dla polerowania mechanicznego tańsze niż polerowanie mechaniczne usuwa mikronaprężenia Polerowanie
11
Przyspiesza desorpcję gazów z powierzchni czyszczonej Konieczne aby zejść poniżej ciśnień 10 -7 mbar Prowadzone przy jednoczesnej pracy pompy Często prowadzone przez 24 h w 300 o C Typowe gazy usuwane tą metodą; CO, H 2, O 2, CH 4, H 2 O Temperatura wygrzewania zależy od użytych materiałów (np. przy 300 o C - nie stosować uszczelek elastomerowych) Wygrzewanie
12
Przez zamaczanie w środku czyszczącym, jego oparach lub obu jednocześnie W oparach trichloroetanu lub trichloroetenu Jeden z ważniejszych kroków czyszczenia Może być wykonywane wielokrotnie Wspomagane wytrząsarką ultradźwiękową Po czyszczeniu powierzchnię przepłukać Odtłuszczanie
13
Przywracanie powłoki tlenkowej Przejście niektórych metali, w środowisku kwasów tlenowych lub ich soli, w stan w którym posiadają wyższy potencjał standardowy Wykonywana często po procesie wytrawiania Zabezpiecza aluminium i niektóre rodzaje stali nierdzewnej przed korozją Często stosowany kwas azotowy lub fluorowodorowy Pasywacja
14
Zabezpiecza powierzchnie przed środkiem czyszczącym Chroni np. miejsce styku kołnierza z uszczelką Stosuje się samoprzylepne taśmy Maskowanie
15
Pod bieżącą wodą nie w każdym przypadku ze względu na obecność chlorków Wodą demineralizowaną lub destylowaną przewodność < 10µS/cm Zanurzanie w gorącej wodzie o temp. ok. 65 o C przyspiesza proces schnięcia Płukanie
16
Suszenie Należy wykonać tuż po wyczyszczeniu W strumieniu powietrza suchego czystego najlepiej gorącego Wysuszoną cześć należy szybko zamontować lub zapakować
17
Pakowanie Ważne podczas transportu dokładne spasowanie komponentów brak dostępu powierza Należy wykonać tuż po wysuszeniu Materiały: świeża folia aluminiowa arkusz polietylenu
18
Odzież ochronna Rękawice lateksowe świeże brak obecności włókien Osłona na głowę ochrona przed włosami
19
Mechaniczne usunięcie dużych zabrudzeń odtłuszczenie Płukanie wodą z kranu suszenie pakowanieinstalacja 10 -3 mbar0 mbar10 -6 mbar10 -8 mbar Odtłuszczenie parą Płukanie wodą z kranu suszenie pakowanieinstalacja Płukanie wodą destylowaną pakowanie instalacja suszenie Płukanie wodą destylowaną Płukanie wodą z kranu Moczenie w detergencie i wytrząsanie Wygrzewanie w próżni Elektro-polerowanie Wygrzewanie in situ w próżni 200 – 400 o C wyżarzanie odpompowywanie
20
Materiały niemetalowe Czyszczenie powierzchni ceramicznych: ceramika matowa wymaga stosowania rękawic wstępne czyszczenie mechaniczne nylonową szczotką moczenie w roztworze detergentu, zimnej wodzie i roztworze kwasu azotowego wszystkie procesy wspomagane wytrząsaniem w łaźni ultradźwiękowej płukanie suszenie w 1000 o C przez 8h Czyszczenie szkła: roztworem kwasu chromowego (trujący) środkami czyszczącymi na mokro (mniej toksyczne i łatwiej usunąć pozostałości przez przemycie wodą)
21
Literatura ‘’Basic Vacuum Technology’’ A. Chambers, R. K. Fitch, B. S. Halliday ‘’Technika wysokiej próżni’’ J. Groszkowski
Podobne prezentacje
© 2024 SlidePlayer.pl Inc.
All rights reserved.