Mikrosystemy krzemowe

Prezentacja na temat: "Mikrosystemy krzemowe"— Zapis prezentacji:

1 Mikrosystemy krzemowe

2 Rozmiary geometryczne mikrosystemów

3 Schemat blokowy mikrosystemu

4 Realizacja skomplikowanego kształtu metodą wielokrotnego nakładania warstw poświęconych

5 MIKROSILNIK ELEKTROSTATYCZNY
STOJAN prędkość obrotowa 25000 obr/min ROTOR o średnicy m m

6

7 Elementy mikromechaniczne wykonane technologią EFAB
Wykonanie Projekt w CAD Cewka Chip z wieloma układami RF

8 Elementy mikromechaniczne wykonane technologią EFAB
Waraktor obrotowy

9 Elementy mikromechaniczne wykonane technologią EFAB
Projekt w CAD Wykonanie Linia opóźniająca Scaner

10 1 mm Zespół dysz wraz z przełącznikiem

11 Miniaturowa łódź podwodna płynie w naczyniu krwionośnym
Techniką stereolitografi wytworzono subminiaturową łódź podwodną, przeznaczoną do diagnostyki układów krążenia, o wymiarach 4 x 0.8 mm Urządzenie to jest napędzane śrubą wielołopatkową. Może być wyposażone w kamerę TV i różne czujniki wielkości nieelektrycznych. Dzięki uprzejmości firmy Micro TECH, Bismarckstrasse 1426, Duisburg, Niemcy

12 Rynek MEMS-ów w miliardach dolarów

13 Noworozwijane mikrosystemy 1996-2002 (przewidywania 1999)
Światowy rynek mikrosystemów Struktura i zakres , produkty dobrze usytuowane (przewidywania 1999) Noworozwijane mikrosystemy (przewidywania 1999)

14 EUROPRACTICE W Europie powołano jeden ogólnoeuropejski i kilka narodowych programów rozwoju mikrosystemów pod nazwą EUROPRACTICE, który podzielono na pięć głównych działów: pomiary fizyczne i motoryzacja (CC1) mikrourządzenia biomedyczne i zastosowania w medycynie (CC2a) mikrosystemy bioanalityczne dla nauki o życiu i ochrony środowiska (CC2b) MEOMS, urządzenia peryferyjne i telekomunikacyjne (CC3) mikromaszyny i mikroaktuatory, kontrola procesów i zastosowania w narzędziach (CC4) mikrofluidyka i mikrosystemy cieczowe (CC5) czujniki promieniowania, areonautyka i zastosowania instrumentalne w aparaturze naukowej (CC6a) systemy obrazowe CMOS (CC6b).

15 Rozwój techniki mikrosystemów na świecie

16 Struktura instytucji badawczych i dydaktycznych
Struktura nakładów inwestycyjnych na badania i instytucji badawczych w dziedzinie mikrosystemów Struktura nakładów inwestycyjnych na badania w dziedzinie mikrosystemów krzemowych Struktura instytucji badawczych i dydaktycznych

17 Rozwój mikrosystemów

18 Pole zastosowań i rozwój mikrosystemów

19 Technika mikrosystemów a rozwój