Pobieranie prezentacji. Proszę czekać

Pobieranie prezentacji. Proszę czekać

TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (

Podobne prezentacje


Prezentacja na temat: "TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice ("— Zapis prezentacji:

1 TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( CZYNNIKI DECYDUJĄCE O UZYSKU

2 TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( CZYNNIKI DECYDUJĄCE O UZYSKU 1.Czystość pomieszczeń 2.Czystość wody 3.Czystość gazów technicznych i odczynników chemicznych - filtracja,

3 TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( CZYSTOŚĆ POMIESZCZEŃ

4 TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( CZYSTOŚĆ POMIESZCZEŃ Wytwarzanie struktur mikroelektronicznych a w szczególności struktur półprzewodnikowych wymaga odpowiedniego przygotowania laboratoriów, które muszą być wyposażone w: SYSTEMY KLIMATYZACYJNE

5 TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( CZYSTOŚĆ POMIESZCZEŃ KLIMATYZATOR APARATURA

6 TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( CZYSTOŚĆ POMIESZCZEŃ KLIMATYZATOR

7 TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( CZYSTOŚĆ POMIESZCZEŃ KLIMATYZATOR NADMUCH

8 TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( CZYSTOŚĆ POMIESZCZEŃ KLIMATYZATOR NADMUCH

9 TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( CZYSTOŚĆ POMIESZCZEŃ KLIMATYZATOR NADMUCH WYCIĄG

10 TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( CZYSTOŚĆ POMIESZCZEŃ Charakterystyka otaczającego powietrza Temp. latem [°C] Temp. zimą [°C] Wilg. względna[%] Maksymalna liczba cząstek o rozm.  0.5  m/l Klasa pomieszczenia          Zgodnie z ogólnymi normami

11 TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( CZYSTOŚĆ POMIESZCZEŃ ZAPYLENIE PRZESTRZENI ROBOCZYCH

12 TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( ZAPYLENIE PRZESTRZENI ROBOCZYCH PRZESTRZEŃ ROBOCZA CZĄSTECZKI ZANIECZYSZCZEŃ MECHANICZNYCH PODŁOŻE PÓŁPRZEWODNIKOWE

13 TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( ZAPYLENIE PRZESTRZENI ROBOCZYCH KLASA CZYSTOŚCI POMIESZCZENIA – ILOŚĆ CZĄTEK O OKREŚLONYCH ŚREDNICACH W STOPIE SZEŚCIENNEJ (CUBIC FOOT) KLASA 1 O.1  m O.2  m O.3  m O.5  m 5.0  m brak.

14 TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( ZAPYLENIE PRZESTRZENI ROBOCZYCH KLASA CZYSTOŚCI POMIESZCZENIA – ILOŚĆ CZĄTEK O OKREŚLONYCH ŚREDNICACH W STOPIE SZEŚCIENNEJ (CUBIC FOOT) KLASA 10 O.1  m O.2  m O.3  m O.5  m 5.0  m brak

15 TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( ZAPYLENIE PRZESTRZENI ROBOCZYCH KLASA CZYSTOŚCI POMIESZCZENIA – ILOŚĆ CZĄTEK O OKREŚLONYCH ŚREDNICACH W STOPIE SZEŚCIENNEJ (CUBIC FOOT) KLASA 100 O.1  m O.2  m O.3  m O.5  m 5.0  m Nie oznacz brak

16 TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( ZAPYLENIE PRZESTRZENI ROBOCZYCH KLASA CZYSTOŚCI POMIESZCZENIA – ILOŚĆ CZĄTEK O OKREŚLONYCH ŚREDNICACH W STOPIE SZEŚCIENNEJ (CUBIC FOOT) KLASA 1000 O.1  m O.2  m O.3  m O.5  m 5.0  m n.oznacz

17 TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( ZAPYLENIE PRZESTRZENI ROBOCZYCH PRZESTRZEŃ ROBOCZA WENTYLATOR ZASYSAJĄCY POWIETRZE BATERIA FILTRÓW KOMORA LAMINARNA

18 TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( ZAPYLENIE PRZESTRZENI ROBOCZYCH KLASA 10 KLASA 100

19 TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( WODA

20 TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( WODA Woda jest jednym z najważniejszych surowców pomocniczych stosowanych w przemyśle elektronicznym Służy do przemywania detali elektronicznych, płukania podłoży półprzewodnikowych po procesach mycia, trawienia itp..

21 TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( WODA

22 TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( WODA + -

23 TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( WODA Chemicznie „czysta” woda składa się cząsteczek H 2 O oraz niewielkiej ilości jonów H+ i OH- Iloczyn jonowy wody (T=25°C)

24 TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( WODA + - KATODA - - ANODA + +

25 TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( WODA Przewodność właściwa absolutnie czystej wody (wartość obliczona) wynosi:

26 TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( WODA - ZANIECZYSZCZENIA WODA + - Na+ Cl-

27 TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( WODA - ZANIECZYSZCZENIA WODA + - Na+ Cl- K+ SO 4 -

28 TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( WODA - ZANIECZYSZCZENIA WODA + - Na+ Cl- K+ SO 4 - KATODA ANODA

29 TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( WODA - ZANIECZYSZCZENIA WODA + - Na+ Cl- K+ SO 4 - ANODA + + KATODA - -

30 TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( MIARY CZYSTOŚCI WODY

31 TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( MIARY CZYSTOŚCI WODY PRZEWODNOŚĆ ELEKTRYCZNA ZDOLNOŚĆ ODTLENIAJĄCA ZAWARTOŚĆ SUCHEJ POZOSTAŁOŚCI ZAWARTOŚĆ WYBRANYCH JONÓW

32 TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( MIARY CZYSTOŚCI WODY PRZEWODNOŚĆ ELEKTRYCZNA WŁAŚCIWA Jest funkcją zawartości „zanieczyszczeń” o charakterze jonowym Woda stosowana w przemyśle elektronicznym ma czystość na poziomie (10÷18)M  cm

33 TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( MIARY CZYSTOŚCI WODY ZDOLNOŚĆ ODTLENIAJĄCA WODY Jest miarą zanieczyszczeń organicznych. Określa ilość miligramów tlenu potrzebną do utlenienia związków organicznych w 1l wody Wymagania dla wody w przemyśle elektronicznym są na poziomie poniżej 1mg O 2 /l

34 TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( MIARY CZYSTOŚCI WODY ZAWARTOŚĆ SUCHEJ POZOSTAŁOŚCI Jest wskaźnikiem ilości zanieczyszczeń, które pozostają po odparowaniu porcji wody Wymagania dla wody w przemyśle elektronicznym są na poziomie poniżej 0.5 mg/l

35 TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( MIARY CZYSTOŚCI WODY ZAWARTOŚĆ WYBRANYCH GRUP JONÓW W zależności od wymagań w wodzie oznacza się zawartość wybranych jonów: Fe(+3), Ca(+2), Mg(+2), Cl(-), SO 4 (-) i inne

36 TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( OCZYSZCZANIE WODY

37 TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( OCZYSZCZANIE WODY Metody oczyszczania wody DESTYLACJA REDESTYLACJA DEJONIZACJA

38 TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( OCZYSZCZANIE WODY DESTYLACJA

39 TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( DESTYLACJA WLOT WYLOT CHŁODNICA GRZAŁKA 230V WLEW

40 TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( DESTYLACJA GRZAŁKA WLOT WYLOT CHŁODNICA 230V DESTYLAT WLEW

41 TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( OCZYSZCZANIE WODY REDESTYLACJA

42 TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( REDESTYLACJA WLOT WYLOT CHŁODNICA GRZAŁKA WLEW

43 TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( REDESTYLACJA REDESTYLAT 230V WLOT WYLOT CHŁODNICA 230V WLEW DESTYLAT

44 TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( OCZYSZCZANIE WODY DEJONIZACJA

45 TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( DEJONIZACJA WODA ZANIECZYSZCZONA WODA OCZYSZCZONA KOLUMNA JONITOWA ODPOWIETRZENIE

46 TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( DEJONIZACJA KOLUMNA JONITOWA WLOT WYLOT Substancja jonowymienna „JONIT”

47 TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( DEJONIZACJA KOLUMNA JONITOWA Proces wymiany jonowej WLOT WYLOT

48 TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( DEJONIZACJA JONITY NIEORGANICZNEORGANICZNE NATURALNE SYNTETYCZNE

49 TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( DEJONIZACJA JONITY KATIONITYANIONITY SYNTETYCZNE słabo-kwaśne silnie-kwaśne słabo-zasadowe silnie-zasadowe

50 TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( DEJONIZACJA KOLUMNA KATIONITOWA KOLUMNA ANIONITOWA „wychwyt” kationów„wychwyt” anionów

51 TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( DEJONIZACJA JONITY BUDOWA

52 TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( DEJONIZACJA -KATIONIT POLIMEROWY MAKROKATION GRUPA JONOWYMIENNA KATIONY K+ Ca2+ Na+

53 TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( DEJONIZACJA -ANIONIT POLIMEROWY MAKROANION GRUPA JONOWYMIENNA Cl- HCO 3 -SO 4 - ANIONY

54 TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( DEJONIZACJA JONITY UŻYTKOWANIE

55 TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( DEJONIZACJA KOLUMNA JONITOWA PRACAREGENERACJA HCl lub NaOH H2OH2O H2OH2O SOLE

56 TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( DEJONIZACJA PRACA

57 TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( DEJONIZACJA -KATIONIT K+ Na+ Ca2+ Na

58 TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( DEJONIZACJA -KATIONIT K+ K Na+ Ca2+ Ca Na

59 TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( DEJONIZACJA -ANIONIT Cl- SO 4 -HCO 3 -

60 TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( DEJONIZACJA -ANIONIT Cl Cl- SO 4 SO 4 - HCO 3 -

61 TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( REGENERACJA JONITÓW REGENERACJA

62 TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( REGENERACJA -KATIONIT HCl K Ca NaHCl Ca Na KKK

63 TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( DEJONIZACJA -KATIONIT KCl NaClCaCl 2 NaCl

64 TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( REGENERACJA -ANIONIT Cl SO 4 NaOH Cl SO 4

65 TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( DEJONIZACJA -KATIONIT NaCl Na 2 SO 4

66 TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( OCZYSZCZANIE WODY DEJONIZATORY

67 TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( DEJONIZATORY KATIONIT ANIONIT  Dwukolumnowy układ dejonizatora

68 TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( DEJONIZATORY KATIONIT ANIONIT WĘGIEL 10  m FILTRACJA WSTĘPNA  Trzykolumnowy układ dejonizatora

69 TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( DEJONIZATORY Pięciokolumnowy układ dejonizatora 10  m FILTRACJA WSTĘPNA KATIONIT ANIONIT  KATIONIT ANIONIT  ZŁOŻE MIESZ.

70 TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( DEJONIZATORY Trzykolumnowy układ dejonizatora  10  m FILTRACJA WSTĘPNA  ZŁOŻE MIESZ. ZŁOŻE MIESZ

71 TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( SYSTEM DEJONIZACJI CIĄGŁEJ

72 TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( SYSTEM DEJONIZACJI CIĄGŁEJ + - ANODA KATODA KOLUMNA PÓŁPRZEWODZĄCA DLA ANIONÓW MEMBRANA

73 TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( SYSTEM DEJONIZACJI CIĄGŁEJ WODA ZANIECZYSZCZONA

74 TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( SYSTEM DEJONIZACJI CIĄGŁEJ WODA ZANIECZYSZCZONA WODA OCZYSZCZONA STRUMIEŃ WODY WYMYWAJĄCY JONY +

75 TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( SYSTEM DEJONIZACJI CIĄGŁEJ + - WODA OCZYSZCZONA WODA ZANIECZYSZCZONA STRUMIEŃ WODY WYMYWAJĄCY JONY ANODA KATODA

76 TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( SYSTEM DEJONIZACJI CIĄGŁEJ REZYSTYWNOŚĆ WODY DI CZAS UŻYTKOWANIA ZŁOŻA W systemie CDI nie występuje potrzeba okresowej regeneracji złoża

77 TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( SYSTEM DEJONIZACJI CIĄGŁEJ REZYSTYWNOŚĆ WODY DI CZAS UŻYTKOWANIA ZŁOŻA W systemie CDI nie występuje potrzeba okresowej regeneracji złoża W systemie konwencjonalnym następuje moment „wyczerpania się” złoża

78 TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( SYSTEM DEJONIZACJI CIĄGŁEJ REZYSTYWNOŚĆ WODY DI CZAS UŻYTKOWANIA ZŁOŻA W systemie CDI nie występuje potrzeba okresowej regeneracji złoża REGENERACJA

79 TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( SYSTEM DEJONIZACJI CIĄGŁEJ REZYSTYWNOŚĆ WODY DI CZAS UŻYTKOWANIA ZŁOŻA W systemie CDI nie występuje potrzeba okresowej regeneracji złoża REGENERACJA

80 TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( KONDUKTOMETRY CIECZOWE

81 TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( KONDUKTOMETRY CIECZOWE GŁOWICA SZKLANA OSLONA PLATYNOWE ELEKTRODY 000  S KONDUKTOMETR

82 TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( KONDUKTOMETRY CIECZOWE 150  S KONDUKTOMETR

83 TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( KONDUKTOMETRY CIECZOWE 17°C KONDUKTOMETR

84 TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( KONDUKTOMETRY CIECZOWE 000,00  S ELEKTRODY PLATYNOWE

85 TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( KONDUKTOMETRY CIECZOWE 040,00  S WODA

86 TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( INSTALACJE DO OCZYSZCZANIA WODY

87 TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( INSTALACJE DO OCZYSZCZANIA WODY Filtracja wstępna Oczyszczanie osmotyczne Odgazowanie dejonizacja wstępna (4-16)M  cm ZBIORNIK Dejonizacja końcowa Sterylizacja ultrafioletem UV Filtracja na filtrach sub- mikronowych PUNKT UŻYCIA 18 M  cm Neutralizacja

88 TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( INSTALACJE DO OCZYSZCZANIA WODY STERYLIZACJA ULTRAFIOLETEM ŻYCIE BIOLOGICZNE

89 TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( INSTALACJE DO OCZYSZCZANIA WODY STERYLIZACJA ULTRAFIOLETEM

90 TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( USUWANIE ZANIECZYSZCZEŃ MECHANICZNYCH FILTRACJA

91 TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( FILTRACJA SiO 2 n+ Si typ p Al D G S (0.3 –0.18)  m

92 TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( FILTRACJA SiO 2 n+ Si typ p Al D G S (0.3 –0.18)  m Cząstki dymu tytoniowego

93 TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( FILTRACJA SiO 2 n+ Si typ p Al D G S (0.3 –0.18)  m 0.1  m 0.3  m

94 TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( FILTRACJA SiO 2 n+ Si typ p Al D G S (0.3 –0.18)  m Włos ludzki 60  m

95 TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( FILTRACJA 100  m 80  m 60  m 40  m 20  m 10  m WŁOS LUDZKI NAJMNIEJSZE OBIEKTY WIDZIALNE OKIEM LUDZKIM MIKROSKOP OPTYCZNY

96 TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( FILTRACJA 10  m 8m8m 6m6m 4m4m 2m2m 1m1m ERYTROCYTY NAJMNIEJSZE KOLONIE GRZYBÓW MIKROSKOP OPTYCZNY

97 TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( FILTRACJA 1m1m 0.8  m 0.6  m 0.4  m 0.2  m 0.1  m DYM TYTONIOWY NAJMNIEJSZE BAKTERIE MIKROSKOP OPTYCZNY MIKROSKOP ELEKTRON.

98 TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( FILTRACJA 0.1  m 0.08  m 0.06  m 0.04  m 0.02  m 0.01  m CZĄSTKI SADZY WIRUS POLIO MIKROSKOP ELEKTRON.

99 TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( FILTRACJA FILTRACJA PRZY WYKORZYSTANIU FILTRÓW MEMBRANOWYCH

100 TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( FILTRACJA OBUDOWA FILTRU FILTR USZCZELKI TEFLONOWE WLOT WYLOT

101 TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( FILTRACJA FILTR MILLIPORE średnica porów 0.2  m WLOT WYLOT Na filtrze zostaną „wychwycone” zanieczyszczenia o średnicach powyżej 0.2  m

102 TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( FILTRACJA Wielkości porów filtrów produkowanych przez firmę MILLIPORE 14  m 5  m 3  m 1.2  m 0.45  m 0.22  m 0.10  m 0.05  m  m Informacja zaczerpnięta z katalogów wyrobów firmy MILLIPORE

103 TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( FILTRACJA ZESTAWY FILTRACYJNE W SYSTEMIE DYSTRYBUCJI GAZÓW

104 TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( FILTRACJA - ZESTAWY TLEN AZOT POWIETRZE KOMORA ROBOCZA FILTR WSTĘPNY TYP ITYP II FILTRY KOŃCOWE

105 TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( FILTRACJA - ZESTAWY KOMORA ROBOCZA FILTR KOŃCOWY TYP I TYP II SiH 4 PH 3 SiCl 4 SZAFA GAZOWA WYCIĄG Gazy specjalne

106 TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( FILTRACJA FILTRACJA ODCZYNNIKÓW CHEMICZNYCH

107 TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( FILTRACJA Na drodze „od producenta” odczynników chemicznych dla elektroniki do „punktu użycia (point of use)” dany materiał (preparat) podlega wielokrotnej filtracji PRODUCENT ODCZYNNIKÓW PUNKT UŻYCIA (POINT OF USE) FILTRACJA

108 TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( FILTRACJA – ODCZYNNIKI CHEMICZNE FILTRACJA WSTĘPNA FILTRACJA POCZĄTKOWA FILTRACJA ZASADNICZA FILTRACJA KOŃCOWA FILTRACJA „POINT OF USE” SPADEK ILOŚCI ZANIECZYSZCZEŃ MECHANICZNYCH

109 TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, Gliwice ( FILTRACJA – ODCZYNNIKI CHEMICZNE WYTWARZANIE MATERIAŁÓW Z ODCZYNNIKÓW CHEMICZNYCH PRZEPAKOWYWANIE WYTWARZANIE ODCZYNNIKÓW l1l1l1l 1l1l1l1l 1l1l1l1l 55 gal.

110


Pobierz ppt "TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice ("

Podobne prezentacje


Reklamy Google